Sputtering-Targets gibt es in einer Vielzahl von Größen, von winzigen Targets mit einem Durchmesser von weniger als einem Zoll bis hin zu massiven Targets, die über einen Meter lang sein können.
Welche Größe haben Sputtering-Targets? 5 zu berücksichtigende Schlüsselfaktoren
1. Variabilität der Größe
Die Größe von Sputtertargets hängt weitgehend von den spezifischen Anforderungen der zu erzeugenden Dünnschicht ab.
Kleine Targets, oft mit einem Durchmesser von weniger als einem Zoll, sind ideal für Anwendungen, die nur eine minimale Materialabscheidung erfordern.
Größere Targets, die mehr als einen Meter lang sein können, werden dagegen für Anwendungen verwendet, bei denen eine große Menge an Material abgeschieden werden muss.
2. Form und kundenspezifische Anpassung
Traditionell sind Sputtertargets entweder rechteckig oder rund.
Moderne Fertigungstechniken haben jedoch die Herstellung von Targets in verschiedenen Formen ermöglicht, darunter Quadrate, Dreiecke und zylindrische Formen wie Rotationstargets.
Diese speziellen Formen wurden entwickelt, um den Abscheidungsprozess zu optimieren und präzisere und schnellere Abscheidungsraten zu ermöglichen.
3. Segmentierung
Bei sehr großen Sputteranwendungen sind einteilige Targets aufgrund technischer oder gerätetechnischer Beschränkungen möglicherweise nicht praktikabel.
In solchen Fällen werden die Targets in kleinere Teile segmentiert, die dann mit speziellen Verbindungen wie Stumpf- oder Schrägverbindungen zusammengefügt werden.
Auf diese Weise lassen sich große Targets herstellen, ohne die Integrität des Abscheidungsprozesses zu beeinträchtigen.
4. Standard- und Sondergrößen
Die Hersteller bieten in der Regel eine Reihe von Standardgrößen für runde und rechteckige Targets an.
Sie erfüllen jedoch auch kundenspezifische Anforderungen, so dass die Kunden die Abmessungen angeben können, die ihren spezifischen Anwendungsanforderungen am besten entsprechen.
Diese Flexibilität gewährleistet, dass der Sputterprozess genau auf die Anforderungen der verschiedenen Branchen und Anwendungen zugeschnitten werden kann.
5. Überlegungen zu Reinheit und Material
Nicht nur Größe und Form des Targets sind entscheidend, sondern auch die Reinheit des Materials.
Targets sind in verschiedenen Reinheitsgraden erhältlich, von 99,5 % bis 99,9999 %, je nach Metall und Anwendung.
Ein höherer Reinheitsgrad kann die Qualität der Dünnschicht verbessern, kann aber auch die Materialkosten erhöhen.
Die Auswahl des geeigneten Reinheitsgrades ist daher eine Abwägung zwischen Kosten und Leistung.
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