Die für die RF-Sputterbeschichtung üblicherweise verwendete Frequenz ist 13,56 MHz.
Diese Frequenz wird aus mehreren Gründen gewählt.
4 Hauptgründe, warum 13,56 MHz die Standardfrequenz für die RF-Sputterdeposition ist
1. Einhaltung gesetzlicher Vorschriften
Die Internationale Fernmeldeunion (ITU) hat 13,56 MHz als Frequenz für industrielle, wissenschaftliche und medizinische Instrumente (ISM) festgelegt.
Diese Zuweisung verhindert Interferenzen mit Telekommunikationsdiensten.
Sie stellt sicher, dass HF-Sputtergeräte innerhalb eines Frequenzbandes arbeiten, das speziell für Nicht-Kommunikationsanwendungen reserviert ist.
2. Effizienz der Ionen-Target-Wechselwirkung
Die Frequenz von 13,56 MHz ist niedrig genug, um genügend Zeit für die Impulsübertragung von Argon-Ionen auf das Targetmaterial während des Sputterns zu haben.
Bei dieser Frequenz haben die Ionen genügend Zeit, das Target zu erreichen und mit ihm in Wechselwirkung zu treten, bevor der nächste Zyklus des HF-Feldes beginnt.
Diese Wechselwirkung ist für eine effektive Zerstäubung des Targetmaterials entscheidend.
3. Vermeidung von Ladungsansammlungen
Beim HF-Sputtern trägt das wechselnde elektrische Potenzial dazu bei, den Aufbau von Ladungen auf dem Target zu verhindern, insbesondere bei isolierenden Materialien.
Während des positiven HF-Zyklus werden die Elektronen vom Target angezogen, wodurch es eine negative Vorspannung erhält.
Während des negativen Zyklus wird der Ionenbeschuss fortgesetzt, so dass das Target elektrisch neutral bleibt und nachteilige Auswirkungen wie Tröpfchenbildung verhindert werden.
4. Weithin akzeptierter Standard
Aufgrund ihrer Effektivität und der Einhaltung internationaler Vorschriften hat sich die Frequenz 13,56 MHz als Standard für das RF-Sputtern durchgesetzt.
Diese Standardisierung vereinfacht die Konstruktion und den Betrieb von Sputteranlagen.
Sie gewährleistet auch die Kompatibilität verschiedener Systeme und Komponenten.
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