Sputtertargets werden in verschiedenen Herstellungsverfahren gefertigt, die von den Materialeigenschaften und dem Verwendungszweck abhängen.
Zu den gängigen Verfahren gehören Vakuumschmelzen und -gießen, Heißpressen, Kaltpressen und Sintern sowie spezielle Presssinterverfahren.
Diese Verfahren gewährleisten die Herstellung hochwertiger, chemisch reiner und metallurgisch einheitlicher Targets, die bei der Sputterdeposition zur Herstellung dünner Schichten verwendet werden.
4 wesentliche Herstellungsprozesse erklärt
1. Vakuumschmelzen und -gießen
Bei diesem Verfahren werden die Rohmaterialien im Vakuum geschmolzen, um Verunreinigungen zu vermeiden, und anschließend in die gewünschte Form gegossen.
Diese Methode eignet sich besonders gut für Materialien, die eine hohe Reinheit erfordern.
2. Heißpressen und Kaltpressen mit Sintern
Bei diesen Verfahren werden pulverförmige Materialien bei hohen oder Raumtemperaturen gepresst und anschließend gesintert, um die Partikel miteinander zu verbinden.
Durch das Heißpressen werden in der Regel eine höhere Dichte und bessere mechanische Eigenschaften erzielt.
3. Spezielles Press-Sinter-Verfahren
Hierbei handelt es sich um ein maßgeschneidertes Verfahren für bestimmte Materialien, die besondere Bedingungen für eine optimale Verdichtung und Bindung erfordern.
4. Vakuum-Hot-Pressing
Ähnlich wie das Heißpressen, jedoch unter Vakuum, um die Reinheit zu erhöhen und Oxidation zu verhindern.
Form und Größe
Sputtertargets können in verschiedenen Formen und Größen hergestellt werden, in der Regel rund oder rechteckig.
Aufgrund technischer Beschränkungen kann es jedoch erforderlich sein, mehrteilige Targets herzustellen, die dann durch Stoß- oder Schrägverbindungen zusammengefügt werden.
Qualitätskontrolle
Jedes Produktionslos wird strengen Analyseverfahren unterzogen, um die Einhaltung der Qualitätsstandards zu gewährleisten.
Jeder Lieferung wird ein Analysezertifikat beigefügt, das die Eigenschaften und die Reinheit des Materials garantiert.
Anwendung bei der Dünnschichtabscheidung
Sputtertargets sind von entscheidender Bedeutung bei der Sputterdeposition, einer Technik zur Herstellung dünner Schichten für Anwendungen wie Halbleiter, Solarzellen und optische Komponenten.
Die Targets, die aus reinen Metallen, Legierungen oder Verbindungen bestehen, werden mit gasförmigen Ionen beschossen, wodurch Partikel herausgeschleudert werden, die sich auf einem Substrat ablagern und eine dünne Schicht bilden.
Wiederverwertung
Sputtertargets sind aufgrund ihrer Zusammensetzung und der hochwertigen Anwendungen, für die sie verwendet werden, wie z. B. in Halbleitern und Computerchips, eine wertvolle Quelle für Edelmetallschrott.
Das Recycling dieser Targets schont nicht nur die Ressourcen, sondern senkt auch die Kosten für die Herstellung neuer Materialien.
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