Wissen Wie wird DLC hinterlegt? - 5 Schlüsselaspekte erklärt
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Technisches Team · Kintek Solution

Aktualisiert vor 2 Monaten

Wie wird DLC hinterlegt? - 5 Schlüsselaspekte erklärt

Diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) werden in der Regel mit einem Verfahren hergestellt, das als plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung im Hochfrequenzbereich (RF PECVD) bezeichnet wird.

Mit dieser Methode können wir Kohlenstoffschichten mit vielen verschiedenen optischen und elektrischen Eigenschaften herstellen.

Das Verfahren arbeitet bei relativ niedrigen Temperaturen, etwa 200 °C.

Mit Hilfe eines Plasmas werden chemische Reaktionen ausgelöst, die zu DLC-Schichten führen, die hart sind und eine geringe Reibung aufweisen.

5 Schlüsselaspekte erklärt: Wie DLC abgeschieden wird und seine Vorteile

Wie wird DLC hinterlegt? - 5 Schlüsselaspekte erklärt

1. Abscheidungsprozess: Die Magie der RF-PECVD

Bei der RF-PECVD-Methode wird ein Plasma verwendet, um die für die DLC-Herstellung erforderlichen chemischen Reaktionen einzuleiten.

Das Plasma wird mit Hilfe von Hochfrequenz erzeugt, die das Gas in Ionen umwandelt und die Reaktionen in Gang setzt.

Dies geschieht bei niedrigen Temperaturen, was gut für Materialien ist, die keine Hitze mögen.

2. Eigenschaften von DLC, das mit RF-PECVD abgeschieden wird

Die auf diese Weise hergestellten DLC-Schichten sind sehr hart und haften gut auf vielen Oberflächen.

Sie haben eine geringe Reibung und eine hohe Verschleißfestigkeit, was für Dinge, die lange halten müssen, von großem Vorteil ist.

3. Kombination mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)

Manchmal wird das RF-PECVD-Verfahren mit PVD kombiniert, um das DLC noch besser zu machen.

Durch diese Kombination können wir dem DLC zusätzliche Stoffe hinzufügen und Schichten mit besonderen Eigenschaften erzeugen.

4. Herausforderungen: Die Nachteile von RF-PECVD

Ein Problem bei dieser Methode ist, dass die DLC-Schichten oft eine hohe Spannung aufweisen.

Diese Spannungen und andere Probleme können dazu führen, dass die Schicht nicht mehr so gut auf der Oberfläche haftet.

5. Umwelt- und Chemieaspekte: Ein umweltfreundlicherer Prozess

Das DLC-Verfahren ist gut für die Umwelt, denn es verwendet Kohlenstoff und Wasserstoff, die wiederverwendet werden.

DLC wird aus einer Mischung aus Wasserstoff und Kohlenstoff hergestellt, die sich auf der Oberfläche ausbreitet und aushärtet.

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