Diffusionspumpen sind unverzichtbare Werkzeuge in Industrien, die Hochvakuumumgebungen benötigen.
Diese Pumpen sind für ihre Langlebigkeit und Zuverlässigkeit bekannt, vor allem weil sie keine beweglichen Teile haben.
Sie arbeiten effizient in einem Vakuumbereich von 10^-2 bis 10^-10 Torr.
4 untersuchte Schlüsselindustrien
1. Elektronenstrahlmikroskopie
Diffusionspumpen sind in der Elektronenstrahlmikroskopie von entscheidender Bedeutung.
Hochvakuumbedingungen sind notwendig, um die Streuung des Elektronenstrahls durch Restgase zu verhindern.
Das Hochvakuum sorgt dafür, dass sich der Elektronenstrahl ungehindert ausbreiten kann, was eine hochauflösende Abbildung der Proben ermöglicht.
2. Vakuumabscheidung und Beschichtungen
Bei der Vakuumbeschichtung werden Materialien in einer Vakuumumgebung verdampft und dann auf Substrate aufgebracht, um dünne Schichten zu bilden.
Zur Erzeugung und Aufrechterhaltung des erforderlichen Hochvakuums werden Diffusionspumpen eingesetzt.
Dadurch wird sichergestellt, dass die verdampften Partikel direkt auf das Substrat gelangen, ohne von Gasmolekülen gestört zu werden, was zu hochwertigen, gleichmäßigen Beschichtungen führt.
3. Vakuumöfen
In Vakuumöfen werden die Materialien im Vakuum erhitzt, um Oxidation und andere chemische Reaktionen zu verhindern, die in Gegenwart von Luft auftreten können.
Mit Hilfe von Diffusionspumpen werden diese Öfen auf das erforderliche Vakuum evakuiert.
Dadurch wird sichergestellt, dass die Werkstoffe in einer kontrollierten, inerten Umgebung erhitzt werden, was besonders für Prozesse wie Glühen, Löten und Sintern wichtig ist.
4. Wartung und Betriebsüberlegungen
Die Wartung von Diffusionspumpen ist relativ einfach.
Sie konzentriert sich auf die Aufrechterhaltung eines angemessenen Ölstandes und die Sicherstellung des Betriebszustandes der Heizelemente.
Um die Leistung zu maximieren und den Wartungsbedarf zu minimieren, wird auf die Verwendung von hochwertigem Öl Wert gelegt.
Das Funktionsprinzip von Diffusionspumpen besteht darin, den Dampf einer siedenden Flüssigkeit zu nutzen, um Luftmoleküle einzufangen, die dann bewegt und gekühlt werden, um die Luftmoleküle freizusetzen, wodurch ein Hochvakuum entsteht.
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