Eine PVD-Maschine (Physical Vapor Deposition) ist ein Gerät, mit dem dünne Materialschichten durch physikalische Verdampfung auf ein Substrat aufgebracht werden. Bei diesem Verfahren wird ein Zielmaterial erhitzt, bis es verdampft, und dann wird der Dampf auf die Oberfläche eines Substrats aufgebracht. Die dabei entstehende Schicht ist in der Regel sehr dünn, von einigen Nanometern bis zu einigen Mikrometern Dicke, und kann verschiedene Vorteile bieten, wie z. B. verbesserte Verschleißfestigkeit, erhöhte Härte und verbessertes ästhetisches Aussehen. PVD-Maschinen werden in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt, u. a. in der Luft- und Raumfahrt, der Automobilindustrie und der Medizintechnik.
Erläuterung des PVD-Verfahrens:
Die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) ist ein Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten, bei dem Atome oder Moleküle eines Materials aus einer festen Quelle in einer Hochvakuumumgebung verdampft werden und dann auf einem Substrat kondensieren. Mit diesem Verfahren können Schichten aus Metallen, Legierungen, Metalloxiden und einigen Verbundwerkstoffen auf verschiedenen Substraten abgeschieden werden. Mit PVD können Schichten mit einer Dicke von einigen Angström bis zu Tausenden von Angström abgeschieden werden, wobei die typischen Abscheideraten zwischen 1 und 100 A/s liegen. Einer der Hauptvorteile von PVD-Verfahren besteht darin, dass fast jedes anorganische Material mit umweltfreundlichen Abscheidungsverfahren abgeschieden werden kann. Die Schichten können aus einzelnen Materialien, aus Schichten mit abgestufter Zusammensetzung oder aus Mehrlagenschichten bestehen.
- Arten von PVD-Maschinen:Kathodenbogen-PVD-Maschinen:
- Bei diesem Verfahren wird ein elektrischer Lichtbogen zwischen dem Ausgangsmaterial (Kathode) und einem negativ geladenen Substrat gezündet, wodurch das Ausgangsmaterial verdampft. Das verdampfte Material lagert sich dann auf dem Substrat ab.Gepulste Laserabscheidung (PLD) PVD-Maschinen:
PLD-Anlagen verwenden einen Hochenergielaser, um die Oberfläche des Ausgangsmaterials abzutragen, wodurch eine Plasmastrahlung entsteht. Der Plasmastrahl lagert sich dann auf dem Substrat ab.Anwendungen von PVD-Beschichtungsanlagen:
PVD-Beschichtungen werden aufgrund ihrer beeindruckenden Eigenschaften in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt. Zu den gängigen Anwendungen gehören die Verbesserung der Haltbarkeit und des Aussehens von Automobilteilen, wie z. B. Motorkomponenten, Zierleisten und Felgen. Darüber hinaus werden PVD-Beschichtungen in der Luft- und Raumfahrt sowie in der Medizintechnik eingesetzt, da sie die Leistung und Langlebigkeit verschiedener Komponenten verbessern.
Zusammenfassung:
