Die Auswirkung der Abscheiderate auf die Dünnschicht ist ein kritischer Aspekt der Dünnschichtproduktion.
Schichten, die mit höheren Abscheideraten hergestellt werden, weisen häufig Auswüchse oder Hügel auf.
Die Dichte dieser Auswüchse nimmt mit zunehmender Abscheidungsrate zu.
Außerdem nimmt die mittlere Korngröße der Schicht mit steigender Abscheidungsrate zu.
Bei Aluminiumschichten auf allen Substraten beispielsweise steigt die mittlere Korngröße mit zunehmender Abscheiderate von 20-30 nm auf 50-70 nm.
5 Wichtige Erkenntnisse über die Auswirkungen der Abscheiderate auf dünne Schichten
1. Bedeutung der Abscheiderate bei der Anlagenauswahl
Die Abscheiderate ist ein wichtiger Parameter, der bei der Verwendung oder Anschaffung von Abscheideranlagen zu berücksichtigen ist.
Sie ist ein Maß dafür, wie schnell die Schicht wächst, und wird in der Regel in Einheiten der Dicke geteilt durch die Zeit ausgedrückt (z. B. A/s, nm/min, um/Stunde).
Die Wahl der Abscheiderate hängt von der jeweiligen Anwendung ab.
2. Bevorzugte Abscheidungsraten für verschiedene Schichtdicken
Bei dünnen Schichten wird eine relativ langsame Abscheidungsrate bevorzugt, um eine genaue Kontrolle der Schichtdicke zu gewährleisten.
Bei dicken Schichten hingegen ist eine schnellere Abscheidungsrate erwünscht.
Es gibt jedoch Kompromisse zwischen den Schichteigenschaften und den Prozessbedingungen.
3. Auswirkungen schnellerer Abscheidungsraten auf die Filmeigenschaften
Prozesse mit höherer Abscheidungsrate erfordern oft höhere Leistungen, Temperaturen oder Gasströme.
Dies kann sich auf andere Schichteigenschaften wie Gleichmäßigkeit, Spannung oder Dichte auswirken.
4. Bedeutung der Gleichmäßigkeit der Abscheidung
Die Gleichmäßigkeit der Abscheidung ist ein weiterer zu berücksichtigender Faktor.
Die Gleichmäßigkeit der Abscheidung bezieht sich auf die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke auf dem Substrat.
Sie kann sich auch auf andere Schichteigenschaften wie den Brechungsindex beziehen.
Die Gleichmäßigkeit wird in der Regel durch die Erfassung von Daten über einen Wafer und die Berechnung des Durchschnitts und der Standardabweichung gemessen.
Es ist wichtig, Bereiche mit Klemm- oder Randeffekten von der messtechnischen Analyse auszuschließen.
5. Auswahl der richtigen Abscheiderate für die gewünschten Filmeigenschaften
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Abscheiderate die Morphologie und die Korngröße der dünnen Schichten beeinflusst.
Es ist wichtig, eine Abscheiderate zu wählen, die für die gewünschten Schichteigenschaften und die Anwendung geeignet ist.
Darüber hinaus sollten Faktoren wie die Gleichmäßigkeit berücksichtigt werden, um eine gleichbleibende Schichtqualität zu gewährleisten.
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