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915MHz MPCVD Diamantmaschine Mikrowellen-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung Systemreaktor

MPCVD

915MHz MPCVD Diamantmaschine Mikrowellen-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung Systemreaktor

Artikelnummer : MP-CVD-101

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Einleitung

Die MPCVD-Diamantmaschine ist eine revolutionäre Technologie, die die Mikrowellen-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung (MPCVD) zur Synthese von Diamanten nutzt. Diese fortschrittliche Methode ermöglicht schnelleres Kristallwachstum, höhere Produktionskapazität und verbesserte Diamantqualität im Vergleich zu traditionellen Techniken.

Die MPCVD-Diamantmaschine ermöglicht eine präzise Steuerung der Mikrowellenleistung und der Reaktionstemperatur und eliminiert Probleme, die bei anderen CVD-Methoden auftreten. Durch die Optimierung des Reaktionskammerdesigns und der Prozessparameter wird eine stabile Plasmaentladung erreicht, die für die Herstellung von hochwertigen, großflächigen Einkristalldiamanten entscheidend ist.

Die Vielseitigkeit der MPCVD-Diamantmaschine erstreckt sich auf ihre Fähigkeit, Diamanten in verschiedenen Farben herzustellen, darunter Weiß, Gelb, Pink und Blau. Darüber hinaus bietet sie eine kundenspezifische Produktion, um spezifische Marktanforderungen zu erfüllen.

Anwendung

MPCVD-Diamantmaschinen werden aufgrund der einzigartigen Eigenschaften von Diamanten wie Härte, Steifigkeit, hoher Wärmeleitfähigkeit, geringer Wärmeausdehnung, Strahlenhärte und chemischer Inertheit in verschiedenen Branchen weit verbreitet eingesetzt. Hier sind einige der Hauptanwendungsbereiche von MPCVD-Diamantmaschinen:

  • Diamant-Edelsteine: MPCVD ist die Hauptausrüstung für das Wachstum von hochwertigen, großflächigen Diamant-Edelsteinen.
  • Diamantfilme: MPCVD wird zur Herstellung von Diamantfilmen für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet, darunter großflächige Diamantsubstrate für die Halbleiterindustrie und Diamantschneid- oder Bohrwerkzeuge.
  • Industrielle Anwendungen: MPCVD wird zur Herstellung von Diamantbeschichtungen für Schneidwerkzeuge, Bohrer und andere industrielle Anwendungen eingesetzt, bei denen extreme Härte und Haltbarkeit erforderlich sind.
  • Biomedizinische Anwendungen: MPCVD wird zur Herstellung von Diamantbeschichtungen für medizinische Implantate wie künstliche Gelenke und Zahnimplantate verwendet, bei denen Biokompatibilität und Haltbarkeit unerlässlich sind.
  • Optoelektronik: MPCVD wird zur Herstellung von Diamantfenstern und -substraten für optoelektronische Geräte wie Hochleistungslaser und Detektoren verwendet, bei denen hohe Wärmeleitfähigkeit und geringe Wärmeausdehnung entscheidend sind.

Details & Teile

MPCVD-Details

MPCVD-Details

Prinzip

Die Mikrowellen-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung (MPCVD) ist ein chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren, das eine kontinuierliche Mikrowellenquelle nutzt, um ein hochreaktives Plasma aus reagierenden Chemikalien und essentiellen Katalysatoren zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. MPCVD wird häufig zur Abscheidung von Diamantschichten eingesetzt – Methan und Wasserstoff werden zugeführt und verwendet, um neuen Diamant auf einem mit Diamant beimpften Substrat zu züchten.

Eigenschaften

Die MPCVD-Diamantmaschine bietet mehrere Vorteile für die Kunden:

  • Schnellere Kristallwachstumsgeschwindigkeit: 10-100 Mal schneller als traditionelle Methoden, was zu einer erhöhten Produktionseffizienz führt.
  • Mehr Produktionskapazität: Ermöglicht eine höhere Produktionskapazität in einer einzigen Charge, was eine groß angelegte Diamantsynthese ermöglicht.
  • Höhere Qualitätsleistung: Produziert Diamanten mit höherer Härte und Zähigkeit als natürliche Diamanten, was Haltbarkeit und Langlebigkeit gewährleistet.
  • Vielfältigere Farben: Unterstützt die Herstellung von Diamanten in einer Reihe von Farben, darunter Weiß, Gelb, Pink und Blau, um den unterschiedlichen Marktanforderungen gerecht zu werden.
  • Höhere Diamantreinheit: Produziert Diamanten mit höherer Reinheit als natürliche Diamanten vom Typ II, was außergewöhnliche optische Eigenschaften und Eignung für verschiedene Anwendungen gewährleistet.
  • Multi-Stil-Anpassung: Bietet kundenspezifische Designs, um spezifische Marktanforderungen zu erfüllen und maßgeschneiderte Lösungen für verschiedene Branchen anzubieten.

Technische Spezifikationen

Mikrowellensystem (gemäß optionaler Stromversorgung)

  • Betriebsfrequenz: 915±15MHz
  • Ausgangsleistung: 3-75kW kontinuierlich einstellbar
  • Kühlwasserdurchfluss: 120/min
  • System-Stehwellenverhältnis: VSWR≤1.5
  • Mikrowellenleckage: <2mw/cm2

Vakuumsystem und Reaktionskammer

  • Leckrate <5×10-9Pa.m3/s
  • Der Enddruck beträgt weniger als 0,7 Pa (diese Maschine wird mit einem importierten Pirani-Vakuummeter geliefert)
  • Der Druckanstieg im Hohlraum darf nach 12 Stunden Aufrechterhaltung des Drucks 50 Pa nicht überschreiten.
  • Arbeitsmodus der Reaktionskammer: TM021 oder TM023 Modus
  • Hohlraumtyp: gekühlter zylindrischer Hohlraum, kann eine Leistung von bis zu 75KW tragen, hohe Reinheit, Steinringdichtung.
  • Einlassmethode: Sprühkopf-Einlass von oben.
  • Beobachtungsfenster für die Temperaturmessung: 8 Beobachtungslöcher, gleichmäßig horizontal verteilt.
  • Probenahmeöffnung: Absenkbare Probenahmeöffnung unten

Probenhalterungssystem

  • Durchmesser der Probentischplatte ≥200mm, effektive Nutzfläche für Einkristalle ≥130mm, effektive Nutzfläche für Polykristalle ≥200mm. Substratplattform mit wassergekühlter Sandwichstruktur, vertikal gerade nach oben und unten.

Gassystem

  • Vollständig metallverschweißte Gasplatte, 5-7 Gasleitungen
  • Alle internen Luftkreisläufe der Ausrüstung verwenden Schweiß- oder VCR-Anschlüsse.

Systemkühlung

  • 3-Wege-Wasserkühlung, Echtzeitüberwachung von Temperatur und Durchfluss.
  • System-Kühlwasserdurchfluss 120L/min, Kühlwasserdruck <4KG, Einlasswassertemperatur 20-25.

Temperaturmessmethode

  • Externes Infrarotthermometer, Temperaturbereich 300-1400 M

SL901A Ausrüstung Schlüsselteile Liste

Seriennummer Modulname Anmerkung
1 Mikrowellen-Stromversorgung Standard-Inlands-Magnetron: Yingjie Electric / Unterscheidungsstromversorgung Inlands-Festkörperquelle: Watson (+30.000) Importiertes Magnetron: MKS/ Pastoral (+100.000)
2 Wellenleiter, drei Pins, Modenwandler, oberer Resonator Selbstgemacht
3 Vakuum-Reaktionskammer (obere Kammer, untere Kammer, Verbinder) Selbstgemacht
4 Infrarotthermometer, optische Verschiebungskomponenten, Halterungen Infrarotthermometer, optische Verschiebungskomponenten, Fuji Gold Siemens + Schneider Halterungen
5 Wassergekühlte Tischbewegungs komponen ten (Zylinder, Werkstücke usw.)
6 Keramik-Dünnschicht-Vakuummeter, Pirani-Vakuummeter Inficon
7 Vakuumventilkomponenten (Ultrahochvakuum-Schiebeventil, Präzisions-Pneumatikventil*2, elektromagnetisches Vakuum-Ladungsdifferenzventil) Fujikin + Zhongke + Himat
8 Vakuumpumpe und Anschlussrohrverschraubungen, T-Stück, KF25-Balgen*2, Adapter Pumpe: Überführung 16L
9 Metall-Mikrowellen-Dichtring*2; Metall-Vakuum-Dichtring*1; Quarzplatte Quarz: Shanghai Feilihua Halbleiterqualität Hochreiner Quarz
10 Umlaufwasserkomponenten (Verbindungen, Verteilerblöcke, Durchflussdetektoren) Japanisches SMC/CKD
11 Pneumatikteil (CKD-Filter, Airtac Mehrwege-Magnetventil, Rohrverschraubungen und Adapter)
12 Gaskupplung, EP-Gasleitung, VCR-Kupplung, Filter 0.0023μm *1, Filter 10μm*2 Fujikin
13 Maschinengehäuse, Edelstahltisch, Universalräder, Füße, Halterungsbefestigungsschrauben usw. kundenspezifische Verarbeitung
14 Gasdurchflussmesser*6 (einschließlich einer Druckregelung) Standard-Sieben-Sterne, optional Fuji Gold (+34.000) / Alicat (42.000)
15 Gasplattenverarbeitung (5-Wege-Gas, Filter*5, Pneumatikventil*5, Handventil*6, Rohrleitungs schweißen) Fuji Gold
16 PLC-Automatikkontrolle Siemens + Schneider
17 Molybdäntisch

Vorteile

  • Schnellere Kristallwachstumsgeschwindigkeit - 10-100 Mal schneller als traditionelle Methoden
  • Mehr Produktionskapazität - mehr Produktionskapazität in einer einzigen Charge
  • Höhere Qualitätsleistung - höhere Härte und Zähigkeit als natürliche Diamanten
  • Vielfältigere Farben - weiß, gelb, pink, blau usw.
  • Höhere Diamantreinheit - reiner als natürliche Diamanten vom Typ
  • Multi-Stil-Anpassung kann je nach Markt angepasst werden

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FAQ

Was Ist Mpcvd?

MPCVD steht für Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition und ist ein Verfahren zur Abscheidung dünner Filme auf einer Oberfläche. Es nutzt eine Vakuumkammer, einen Mikrowellengenerator und ein Gaszufuhrsystem, um ein Plasma aus reagierenden Chemikalien und notwendigen Katalysatoren zu erzeugen. MPCVD wird im ANFF-Netzwerk häufig zur Abscheidung von Diamantschichten unter Verwendung von Methan und Wasserstoff eingesetzt, um neuen Diamanten auf einem mit Diamanten bestückten Substrat wachsen zu lassen. Es handelt sich um eine vielversprechende Technologie zur Herstellung kostengünstiger, hochwertiger großer Diamanten und wird in großem Umfang in der Halbleiter- und Diamantschleifindustrie eingesetzt.

Was Ist Eine Mpcvd-Maschine?

Die MPCVD-Maschine (Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition) ist eine Laborausrüstung zur Züchtung hochwertiger Diamantfilme. Mithilfe eines kohlenstoffhaltigen Gases und eines Mikrowellenplasmas wird über dem Diamantsubstrat eine Plasmakugel erzeugt, die es auf eine bestimmte Temperatur erhitzt. Die Plasmakugel berührt die Hohlraumwand nicht, wodurch der Diamantwachstumsprozess frei von Verunreinigungen ist und die Qualität des Diamanten verbessert wird. Das MPCVD-System besteht aus einer Vakuumkammer, einem Mikrowellengenerator und einem Gaszufuhrsystem, das den Gasfluss in die Kammer steuert.

Was Sind Die Vorteile Von Mpcvd?

MPCVD hat gegenüber anderen Methoden der Diamantherstellung mehrere Vorteile, wie z. B. eine höhere Reinheit, einen geringeren Energieverbrauch und die Möglichkeit, größere Diamanten herzustellen.

Sind CVD-Diamanten Echt Oder Gefälscht?

CVD-Diamanten sind echte Diamanten und keine Fälschungen. Sie werden in einem Labor durch einen Prozess namens Chemical Vapour Deposition (CVD) gezüchtet. Im Gegensatz zu natürlichen Diamanten, die unter der Erdoberfläche abgebaut werden, werden CVD-Diamanten mithilfe fortschrittlicher Technologie in Laboren hergestellt. Diese Diamanten bestehen zu 100 % aus Kohlenstoff und sind die reinste Form von Diamanten, die als Typ-IIa-Diamanten bekannt sind. Sie haben die gleichen optischen, thermischen, physikalischen und chemischen Eigenschaften wie natürliche Diamanten. Der einzige Unterschied besteht darin, dass CVD-Diamanten in einem Labor hergestellt und nicht aus der Erde abgebaut werden.
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915MHz MPCVD Diamantmaschine Mikrowellen-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung Systemreaktor

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