Zu den in thermischen Verdampfungsquellen verwendeten Materialien gehören vor allem Wolfram, Molybdän und Tantal. Diese Materialien werden aufgrund ihrer hohen Reinheit, ihres hohen Schmelzpunkts und ihres niedrigen Dampfdrucks ausgewählt, wodurch sie sich für widerstandsbeheizte Verdampfungsquellen eignen. Diese Quellen gibt es in verschiedenen Formen wie Schiffchen, Körbe, Fäden und beschichtete Stäbe, die jeweils für verschiedene Arten von Verdampfungsmitteln und Anwendungen geeignet sind.
Wolfram, Molybdän und Tantal: Diese Materialien werden aufgrund ihrer feuerfesten Eigenschaften häufig für die Herstellung von Verdampfungsquellen verwendet. Sie können hohen Temperaturen ohne nennenswerte Zersetzung standhalten, was für den Verdampfungsprozess von entscheidender Bedeutung ist, bei dem das Ausgangsmaterial bis zu seinem Schmelzpunkt oder darüber erhitzt wird, um zu verdampfen und sich auf einem Substrat abzulagern.
Formen von Verdampfungsquellen:
- Boote: Diese sind weit verbreitet und werden in verschiedenen Größen angeboten. Größere Boote benötigen eine höhere Leistung für die gleiche Abscheidungsrate, können aber höhere maximale Abscheidungsraten bewältigen.
- Körbe: Diese sind für die Aufnahme von Tiegeln geeignet und werden für Materialien verwendet, die während der Verdampfung eingeschlossen werden müssen.
- Filamente: Diese werden in der Regel für Materialien verwendet, die bei niedrigeren Temperaturen verdampft werden können, oder für Anwendungen in kleinerem Maßstab.
- Beschichtete Stäbe: Diese können verwendet werden, wenn eine spezielle Oberflächenbeschichtung erforderlich ist, um den Verdampfungsprozess zu verbessern oder eine Verunreinigung zu verhindern.
Anwendungen und Design:
Das Design der Verdampfungsquelle ist entscheidend für bestimmte Anwendungen wie OLED/Mehrfachbeschichtung bei der Herstellung von Flachbildschirmen. Die Quellen sind speziell für die Optimierung des Verdampfungsprozesses ausgelegt und gewährleisten eine effiziente und gleichmäßige Abscheidung der Materialien.Stromversorgung und Steuerung:
Thermische Verdampfungsquellen benötigen in der Regel eine elektrische Stromquelle mit niedriger Spannung und hohen Strömen. Der Strombedarf ist in der Regel hoch, insbesondere bei Bootsverdampfungsquellen. Zur Steuerung der Verdampfungsgeschwindigkeit und der Abscheidungsrate verwenden thermische Verdampfungssysteme häufig Quarzkristall-Mikrowaagen (QCMs) und andere Software- oder Hardware-Konfigurationen zur Steuerung der Verdampfungsrate und der Filmeigenschaften.
Verdampfende Materialien:
