Thermische Verdampfungsquellen sind wesentliche Bestandteile verschiedener wissenschaftlicher und industrieller Verfahren. Sie werden verwendet, um Materialien bei hohen Temperaturen zu verdampfen und auf Substrate aufzubringen. Die in diesen Quellen verwendeten Materialien werden aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften sorgfältig ausgewählt.
5 wichtige Punkte, die man über die in thermischen Verdampfungsquellen verwendeten Materialien wissen sollte
1.Primäre Materialien: Wolfram, Molybdän und Tantal
Diese Materialien werden am häufigsten für thermische Verdampfungsquellen verwendet. Sie werden aufgrund ihrer hohen Reinheit, ihres hohen Schmelzpunkts und ihres niedrigen Dampfdrucks ausgewählt. Damit sind sie ideal für widerstandsbeheizte Verdampfungsquellen.
2.Feuerfeste Eigenschaften
Wolfram, Molybdän und Tantal sind für ihre feuerfesten Eigenschaften bekannt. Das bedeutet, dass sie extrem hohen Temperaturen standhalten können, ohne sich zu zersetzen. Dies ist entscheidend für den Verdampfungsprozess, bei dem das Ausgangsmaterial bis zu seinem Schmelzpunkt oder darüber hinaus erhitzt wird.
3.Verschiedene Formen von Verdampfungsquellen
Thermische Verdampfungsquellen gibt es in verschiedenen Formen, die unterschiedlichen Anforderungen gerecht werden:
- Boote: Diese werden häufig verwendet und sind in verschiedenen Größen erhältlich. Größere Boote benötigen eine höhere Leistung, können aber auch höhere Abscheidungsraten bewältigen.
- Körbe: Diese eignen sich zur Aufnahme von Tiegeln und werden für Materialien verwendet, die während der Verdampfung eingeschlossen werden müssen.
- Fäden: Diese werden in der Regel für Materialien verwendet, die bei niedrigeren Temperaturen verdampft werden können, oder für Anwendungen in kleinerem Maßstab.
- Beschichtete Stäbe: Diese können verwendet werden, wenn eine spezielle Oberflächenbeschichtung erforderlich ist, um den Verdampfungsprozess zu verbessern oder eine Kontamination zu verhindern.
4.Anwendungen und Design
Das Design der Verdampfungsquelle ist für bestimmte Anwendungen wie OLED und Mehrfachbeschichtung bei der Herstellung von Flachbildschirmen entscheidend. Die Quellen sind so konzipiert, dass sie den Verdampfungsprozess optimieren und eine effiziente und gleichmäßige Abscheidung der Materialien gewährleisten.
5.Stromversorgung und Steuerung
Thermische Verdampfungsquellen benötigen in der Regel eine elektrische Stromquelle mit niedriger Spannung und hohen Strömen. Der Strombedarf ist in der Regel hoch, insbesondere bei Bootsverdampfern. Zur Steuerung der Verdampfungsgeschwindigkeit und der Abscheidungsrate verwenden thermische Verdampfungssysteme häufig Quarzkristall-Mikrowaagen (QCMs) und andere Software- oder Hardware-Konfigurationen.
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