Bei der Metallbeschichtung für die Rasterelektronenmikroskopie (REM) wird in der Regel eine ultradünne Schicht aus elektrisch leitenden Metallen wie Gold (Au), Gold/Palladium (Au/Pd), Platin (Pt), Silber (Ag), Chrom (Cr) oder Iridium (Ir) aufgetragen. Dieses als Sputterbeschichtung bezeichnete Verfahren ist für nicht oder schlecht leitende Proben von entscheidender Bedeutung, um Aufladungen zu verhindern und die Qualität der Bilder durch Verbesserung des Signal-Rausch-Verhältnisses zu erhöhen.
Ausführliche Erläuterung:
-
Zweck der Metallbeschichtung:
-
Im REM werden Metallbeschichtungen auf Proben aufgebracht, die nicht leitend sind oder eine schlechte elektrische Leitfähigkeit aufweisen. Dies ist notwendig, weil sich in solchen Proben statische elektrische Felder ansammeln können, was zu Aufladungseffekten führt, die das Bild verzerren und den Elektronenstrahl stören. Durch die Beschichtung der Probe mit einem leitfähigen Metall werden diese Probleme entschärft, so dass eine klarere und genauere Abbildung möglich ist.Verwendete Metallsorten:
-
- Das am häufigsten verwendete Metall für die Sputterbeschichtung ist Gold, da es eine hohe Leitfähigkeit und eine geringe Korngröße aufweist, was ideal für die hochauflösende Bildgebung ist. Andere Metalle wie Platin, Silber und Chrom werden ebenfalls verwendet, je nach den spezifischen Anforderungen der Analyse oder dem Bedarf an ultrahochauflösender Bildgebung. Platin wird beispielsweise häufig wegen seiner hohen Sekundärelektronenausbeute verwendet, während Silber den Vorteil der Reversibilität bietet, was bei bestimmten Versuchsaufbauten nützlich sein kann.Vorteile von Metallbeschichtungen:
- Geringere Beschädigung durch Strahlen: Metallbeschichtungen können die Probe vor Beschädigungen durch den Elektronenstrahl schützen, was besonders bei strahlungsempfindlichen Materialien wichtig ist.
- Erhöhte Wärmeleitung: Dies hilft bei der Ableitung der vom Elektronenstrahl erzeugten Wärme und verhindert eine thermische Schädigung der Probe.
- Verbesserte Sekundärelektronenemission: Metallbeschichtungen verbessern die Emission von Sekundärelektronen, die für die Bildgebung im REM entscheidend sind. Dies führt zu einem besseren Signal-Rausch-Verhältnis und klareren Bildern.
-
Reduzierte Strahldurchdringung und verbesserte Randauflösung: Metallbeschichtungen können die Eindringtiefe des Elektronenstrahls in die Probe verringern und so die Auflösung der Kanten der Probenmerkmale verbessern.
-
Beschichtungsdicke:
Die Dicke der gesputterten Metallschichten liegt normalerweise zwischen 2 und 20 nm. Die optimale Dicke hängt von den spezifischen Eigenschaften der Probe und den Anforderungen der REM-Analyse ab. So kann eine dünnere Schicht ausreichen, um Aufladungseffekte zu verringern, während eine dickere Schicht für eine bessere Kantenauflösung oder eine höhere Sekundärelektronenausbeute erforderlich sein kann.
Anwendung bei verschiedenen Proben:
