Das in der thermischen Verdampfung häufig verwendete Schiffchen ist in der Regel ein Zweikomponenten-Keramikschiffchen, das aus Titandiborid und Bornitrid besteht. Diese Kombination wird gewählt, weil sie hohen Temperaturen standhält, die elektrische Leitfähigkeit beibehält und gegenüber geschmolzenen Metallen, insbesondere Aluminium, inert bleibt.
Ausführliche Erläuterung:
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Materialzusammensetzung: Das Verdampferschiffchen wird aus einer Mischung aus Titandiborid (TiB2) und Bornitrid (BN) hergestellt. Titandiborid wird wegen seiner hervorragenden Wärmebeständigkeit und seiner Inertheit gegenüber Nichteisenmetallschmelzen ausgewählt. Außerdem verbessert es die Benetzbarkeit des Bootes mit flüssigem Aluminium, was für Verfahren mit Aluminiumbedampfung von entscheidender Bedeutung ist. Bornitrid wird hinzugefügt, um den elektrischen Widerstand des Schiffchens zu regulieren, da es ein nichtleitendes Material ist.
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Funktionsweise: Die Hauptfunktion des Verdampferschiffchens ist die Aufnahme des zu verdampfenden Materials, in der Regel Metalle wie Aluminium. Es dient als elektrischer Widerstandsheizer, bei dem das Boot und ein kontinuierlich zugeführter Metalldraht unter Hochvakuumbedingungen durch den Stromfluss erhitzt werden. Durch diesen Heizvorgang wird der Draht geschmolzen und anschließend verdampft, was die Abscheidung von Dünnschichten ermöglicht.
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Betriebliche Anforderungen: Das Boot muss bei Temperaturen betrieben werden, die deutlich über der Verdampfungstemperatur des darin enthaltenen Materials liegen. Diese Anforderung gewährleistet eine effiziente und gleichmäßige Verdampfung des Materials. Das Design und die Materialzusammensetzung des Schiffchens sind entscheidend für die Aufrechterhaltung dieser hohen Temperaturen ohne Zersetzung oder Reaktion mit dem geschmolzenen Metall.
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Vielseitigkeit und individuelle Anpassung: Verdampferschiffchen sind aufgrund ihrer einfachen Handhabung und ihres breiten Leistungsspektrums in verschiedenen Dünnschicht-Beschichtungsprozessen sehr beliebt. Sie können nach Maß gefertigt werden, um spezifischen Anforderungen gerecht zu werden und die Kompatibilität mit verschiedenen Materialien und Verdampfungsraten zu gewährleisten.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass das Verdampferschiffchen in der thermischen Verdampfung eine wichtige Komponente ist, die aus einer speziellen Keramikmischung hergestellt wird, die eine hohe thermische Beständigkeit, elektrische Leitfähigkeit und chemische Inertheit kombiniert und somit ideal für die Handhabung und Verdampfung von Materialien unter Hochvakuumbedingungen ist.
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