Wissen Was ist planares Magnetronsputtern? (5 wichtige Punkte erklärt)
Autor-Avatar

Technisches Team · Kintek Solution

Aktualisiert vor 1 Monat

Was ist planares Magnetronsputtern? (5 wichtige Punkte erklärt)

Das planare Magnetronsputtern ist eine besondere Art des Magnetronsputterns.

Es handelt sich dabei um eine Technik der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD), mit der dünne Schichten auf Substrate aufgebracht werden.

Dieses Verfahren zeichnet sich durch die Verwendung eines planaren Targets und eine Magnetfeldkonfiguration aus, die den Sputterprozess verbessert.

Zusammenfassung des planaren Magnetronsputterns

Was ist planares Magnetronsputtern? (5 wichtige Punkte erklärt)

Bei der planaren Magnetronzerstäubung wird ein flaches Targetmaterial in einer Vakuumkammer verwendet.

Durch Anlegen einer Spannung zwischen dem Target und einem Substrat wird ein Plasma in der Nähe der Targetoberfläche erzeugt.

Das von den Magneten hinter dem Target erzeugte Magnetfeld begrenzt das Plasma auf die Umgebung des Targets und erhöht so die Effizienz des Sputterprozesses.

Dieses Verfahren ermöglicht die Abscheidung einer breiten Palette von Materialien auf Substraten bei relativ niedrigen Temperaturen und eignet sich daher für verschiedene Anwendungen wie Elektronik, Optik und dekorative Beschichtungen.

Ausführliche Erläuterung

1. Mechanismus des Sputterns

Beim planaren Magnetron-Sputtern wird das Zielmaterial mit hochenergetischen Ionen aus einem Plasma beschossen.

Diese Ionen, in der Regel Argon, werden im Plasma ionisiert und durch ein elektrisches Feld auf das Target beschleunigt.

Durch den Aufprall dieser Ionen werden Atome von der Oberfläche des Targets abgelöst, ein Vorgang, der als Sputtern bezeichnet wird.

2. Verstärkung durch Magnetfeld

Das Magnetfeld spielt eine entscheidende Rolle bei der Steigerung der Effizienz des Sputterprozesses.

Indem es Elektronen in der Nähe der Target-Oberfläche einfängt, verstärkt das Magnetfeld die Ionisierung der Argon-Atome und erhöht die Dichte des Plasmas.

Dies führt zu einem effizienteren Sputtern und höheren Abscheideraten.

3. Abscheidung auf Substraten

Die gesputterten Atome wandern durch die Vakuumkammer und lagern sich auf einem Substrat ab, wobei sie einen dünnen Film bilden.

Die Gleichmäßigkeit und die Qualität des Films hängen von verschiedenen Parametern ab, wie z. B. der auf das Target angewandten Leistung, dem Gasdruck und dem Abstand zwischen Target und Substrat.

4. Anwendungen

Die planare Magnetronzerstäubung wird aufgrund ihrer Vielseitigkeit und der hohen Qualität der erzeugten Schichten in verschiedenen Industriezweigen eingesetzt.

Zu den Anwendungen gehören die Abscheidung von Antireflexionsschichten auf Solarzellen, dekorative Schichten auf Unterhaltungselektronik und Funktionsschichten in der Mikroelektronik.

5. Vorteile

Zu den Hauptvorteilen des planaren Magnetron-Sputterns gehören die Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien abzuscheiden, die niedrigen Temperaturen, die erforderlich sind, und die hohen Abscheideraten, die erreicht werden können.

Außerdem lassen sich Schichtzusammensetzung und -dicke präzise steuern, was es zu einer bevorzugten Methode für viele Industrie- und Forschungsanwendungen macht.

Erforschen Sie weiter, fragen Sie unsere Experten

Entdecken Sie die Präzision und Effizienz des planaren Magnetron-Sputterns mit den hochmodernen Anlagen von KINTEK SOLUTION.

Steigern Sie Ihre Forschungs- und Produktionskapazitäten mit unseren fortschrittlichen PVD-Anlagen, die für die anspruchsvolle Dünnschichtabscheidung in der Elektronik, Optik und darüber hinaus konzipiert sind.

Vertrauen Sie auf KINTEK SOLUTION, wenn es um hochwertige Materialien und außergewöhnliche Unterstützung geht - schöpfen Sie das Potenzial Ihrer Projekte noch heute aus!

Ähnliche Produkte

Spark-Plasma-Sinterofen SPS-Ofen

Spark-Plasma-Sinterofen SPS-Ofen

Entdecken Sie die Vorteile von Spark-Plasma-Sinteröfen für die schnelle Materialvorbereitung bei niedrigen Temperaturen. Gleichmäßige Erwärmung, niedrige Kosten und umweltfreundlich.

Glockenglas-Resonator-MPCVD-Maschine für Labor- und Diamantwachstum

Glockenglas-Resonator-MPCVD-Maschine für Labor- und Diamantwachstum

Erhalten Sie hochwertige Diamantfilme mit unserer Bell-jar-Resonator-MPCVD-Maschine, die für Labor- und Diamantwachstum konzipiert ist. Entdecken Sie, wie die chemische Gasphasenabscheidung mit Mikrowellenplasma beim Züchten von Diamanten mithilfe von Kohlenstoffgas und Plasma funktioniert.

Vakuuminduktionsschmelzspinnsystem Lichtbogenschmelzofen

Vakuuminduktionsschmelzspinnsystem Lichtbogenschmelzofen

Entwickeln Sie mühelos metastabile Materialien mit unserem Vakuum-Schmelzspinnsystem. Ideal für Forschung und experimentelle Arbeiten mit amorphen und mikrokristallinen Materialien. Bestellen Sie jetzt für effektive Ergebnisse.

Zylindrischer Resonator MPCVD-Diamant-Maschine für Labor-Diamant Wachstum

Zylindrischer Resonator MPCVD-Diamant-Maschine für Labor-Diamant Wachstum

Informieren Sie sich über die MPCVD-Maschine mit zylindrischem Resonator, das Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung mit Mikrowellenplasma, das für die Herstellung von Diamantsteinen und -filmen in der Schmuck- und Halbleiterindustrie verwendet wird. Entdecken Sie die kosteneffektiven Vorteile gegenüber den traditionellen HPHT-Methoden.

RF-PECVD-System Hochfrequenz-Plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung

RF-PECVD-System Hochfrequenz-Plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung

RF-PECVD ist eine Abkürzung für "Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition". Damit werden DLC-Schichten (diamantähnliche Kohlenstoffschichten) auf Germanium- und Siliziumsubstrate aufgebracht. Es wird im Infrarot-Wellenlängenbereich von 3-12 um eingesetzt.

Beschichtungsanlage mit plasmaunterstützter Verdampfung (PECVD)

Beschichtungsanlage mit plasmaunterstützter Verdampfung (PECVD)

Verbessern Sie Ihr Beschichtungsverfahren mit PECVD-Beschichtungsanlagen. Ideal für LED, Leistungshalbleiter, MEMS und mehr. Beschichtet hochwertige feste Schichten bei niedrigen Temperaturen.

Hochreines Platin (Pt) Sputtertarget/Pulver/Draht/Block/Granulat

Hochreines Platin (Pt) Sputtertarget/Pulver/Draht/Block/Granulat

Sputtertargets, Pulver, Drähte, Blöcke und Granulate aus hochreinem Platin (Pt) zu erschwinglichen Preisen. Maßgeschneidert auf Ihre spezifischen Bedürfnisse mit verschiedenen Größen und Formen für verschiedene Anwendungen.

Hochreines Magnesium (Mn) Sputtertarget/Pulver/Draht/Block/Granulat

Hochreines Magnesium (Mn) Sputtertarget/Pulver/Draht/Block/Granulat

Suchen Sie nach erschwinglichen Magnesium (Mn)-Materialien für Ihren Laborbedarf? Unsere maßgeschneiderten Größen, Formen und Reinheiten sind genau das Richtige für Sie. Entdecken Sie noch heute unsere vielfältige Auswahl!

Hochreines Gadolinium (Gd)-Sputtertarget/Pulver/Draht/Block/Granulat

Hochreines Gadolinium (Gd)-Sputtertarget/Pulver/Draht/Block/Granulat

Finden Sie hochwertige Gadolinium (Gd)-Materialien für den Laborgebrauch zu erschwinglichen Preisen. Unsere Experten passen die Materialien in verschiedenen Größen und Formen an Ihre individuellen Bedürfnisse an. Kaufen Sie noch heute Sputtertargets, Beschichtungsmaterialien und mehr.

Sputtertarget / Pulver / Draht / Block / Granulat aus Eisen-Gallium-Legierung (FeGa).

Sputtertarget / Pulver / Draht / Block / Granulat aus Eisen-Gallium-Legierung (FeGa).

Finden Sie hochwertige Materialien aus Eisen-Gallium-Legierung (FeGa) für den Laborgebrauch zu angemessenen Preisen. Wir passen die Materialien an Ihre individuellen Bedürfnisse an. Schauen Sie sich unser Angebot an Spezifikationen und Größen an!

Schräge Rotationsrohrofenmaschine für plasmaunterstützte chemische Abscheidung (PECVD).

Schräge Rotationsrohrofenmaschine für plasmaunterstützte chemische Abscheidung (PECVD).

Wir stellen unseren geneigten rotierenden PECVD-Ofen für die präzise Dünnschichtabscheidung vor. Profitieren Sie von der automatischen Anpassung der Quelle, der programmierbaren PID-Temperaturregelung und der hochpräzisen MFC-Massendurchflussmesser-Steuerung. Integrierte Sicherheitsfunktionen sorgen für Sicherheit.

Hochreines Palladium (Pd)-Sputtertarget/Pulver/Draht/Block/Granulat

Hochreines Palladium (Pd)-Sputtertarget/Pulver/Draht/Block/Granulat

Suchen Sie nach erschwinglichen Palladiummaterialien für Ihr Labor? Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen mit unterschiedlichen Reinheiten, Formen und Größen – von Sputtertargets über Nanometerpulver bis hin zu 3D-Druckpulvern. Stöbern Sie jetzt in unserem Sortiment!

Ziehdüse mit Nano-Diamantbeschichtung, HFCVD-Ausrüstung

Ziehdüse mit Nano-Diamantbeschichtung, HFCVD-Ausrüstung

Das Ziehwerkzeug für die Nano-Diamant-Verbundbeschichtung verwendet Sinterkarbid (WC-Co) als Substrat und nutzt die chemische Gasphasenmethode (kurz CVD-Methode), um die herkömmliche Diamant- und Nano-Diamant-Verbundbeschichtung auf die Oberfläche des Innenlochs der Form aufzubringen.

915MHz MPCVD Diamant-Maschine

915MHz MPCVD Diamant-Maschine

915MHz MPCVD-Diamant-Maschine und seine Multi-Kristall effektives Wachstum, die maximale Fläche kann 8 Zoll erreichen, die maximale effektive Wachstumsfläche von Einkristall kann 5 Zoll erreichen. Diese Ausrüstung wird hauptsächlich für die Produktion von großformatigen polykristallinen Diamantfilmen, das Wachstum von langen Einkristalldiamanten, das Niedertemperaturwachstum von hochwertigem Graphen und anderen Materialien verwendet, die Energie benötigen, die durch Mikrowellenplasma für das Wachstum bereitgestellt wird.


Hinterlassen Sie Ihre Nachricht