Für die Herstellung dünner Schichten gibt es zwei gängige Verfahren: die thermische Verdampfung und die Elektronenstrahlverdampfung.
5 wichtige Punkte, die bei der Wahl zwischen thermischer und E-Beam-Verdampfung zu beachten sind
1. Methode der Verdampfung
Bei der thermischen Verdampfung wird das Material durch Hitze verdampft.
Ein Tiegel, der das Material enthält, wird auf eine hohe Temperatur erhitzt, wodurch das Material verdampft.
2. Eignung für Materialien
Die thermische Verdampfung eignet sich gut für Metalle und nichtmetallische Werkstoffe, die eine niedrigere Schmelztemperatur benötigen.
3. Qualität der dünnen Schichten
Durch thermisches Verdampfen können dünne Schichten mit guter Reinheit und Haftung auf dem Substrat erzeugt werden.
Es kann jedoch zu weniger dichten Schichten und einem größeren Risiko von Verunreinigungen aufgrund der Erwärmung des Tiegels führen.
4. E-Beam-Verdampfungsverfahren
Die Elektronenstrahlverdampfung ist ein physikalisches Aufdampfverfahren, bei dem ein Strahl hochenergetischer Elektronen zur Verdampfung des Materials eingesetzt wird.
Das verdampfte Material kondensiert dann auf einem Substrat und bildet eine dünne Schicht.
5. Vorteile der E-Beam-Verdampfung
Die Elektronenstrahlverdampfung kann Materialien mit höheren Temperaturen, wie z. B. Oxide, verarbeiten.
Sie kann Schichten mit hoher Reinheit und guter Haftung auf dem Substrat erzeugen.
Außerdem ist die Abscheidungsrate höher als bei der thermischen Verdampfung.
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