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Elektronenstrahlverdampfung Beschichtung Leitfähiger Bornitrid Tiegel BN Tiegel

Teile zur Dünnschichtabscheidung

Elektronenstrahlverdampfung Beschichtung Leitfähiger Bornitrid Tiegel BN Tiegel

Artikelnummer : KES03

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen


Material
Bornitrid
Specification
35-64,5mm*17-35mm
ISO & CE icon

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Spezifikationen

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Anwendung

Leitfähige Bornitrid-Tiegel sind hochreine, glatte Tiegel, die für die Elektronenstrahlverdampfung entwickelt wurden. Sie verfügen über eine ausgezeichnete Hochtemperatur- und thermische Wechselbeständigkeit und reagieren nicht mit verschiedenen Metallen und keramischen Seltenerdmetallen. Der Tiegel bleibt auch unter Bedingungen schneller Erwärmung und Abkühlung intakt. Er findet Anwendung beim Schmelzen von Legierungen, beim Sintern von Seltenerdmetallen und Keramiken sowie bei der Elektronenstrahlverdampfung. Er wird häufig in thermischen Verdampfungsprozessen wie Hochfrequenzinduktionserwärmung, Beschichtung, Elektronenstrahlverdampfung, Aluminiumbeschichtung und Siliziumbeschichtung eingesetzt.

Der leitfähige Bornitrid-Tiegel zeichnet sich durch hohe Reinheit, hohe Oberflächengüte und ausgezeichnete Leistung bei der Elektronenstrahlverdampfung aus. Er kann die Verdampfungsraten erhöhen, den Materialwechsel beschleunigen, die thermische Stabilität verbessern und den Strombedarf reduzieren, was letztendlich die Produktivität und Kosteneffizienz steigert.

Details & Teile

Elektronenstrahlverdampfung Beschichtung leitfähiger Bornitrid-Tiegel Detail

Elektronenstrahlverdampfung Beschichtung leitfähiger Bornitrid-Tiegel Detail 2

Elektronenstrahlverdampfung Beschichtung leitfähiger Bornitrid-Tiegel Details3

Technische Spezifikationen

Außendurchmesser 35mm 40mm 45mm 50mm 64,5mm
Höhe 17mm 20mm 22,5mm 25mm 35mm

Die von uns angezeigten Tiegel sind in verschiedenen Größen erhältlich, Sondergrößen sind auf Anfrage erhältlich.

Vorteil

  • Der Film hat eine gute Oberflächengüte, hohe Reinheit, geringe Verschmutzung und eine lange Lebensdauer.
  • Ausgezeichnete Hochtemperatur- und thermische Wechselbeständigkeit.
  • Geringe Wärmeausdehnung, beständig gegen Benetzung durch die meisten geschmolzenen Metalle.
  • Hitzebeständigkeit bis 2000℃, Bornitrid reagiert nicht mit Aluminium und ist nicht leicht flüchtig.
  • Erhöhte Verdampfungsrate; Eine erhöhte Verdampfungsrate verkürzt die Zykluszeit und steigert die Gesamtausbeute.
  • Schneller Materialwechsel; Leitfähige Bornitrid-Tiegel ermöglichen einen schnellen Materialwechsel, minimieren Ausfallzeiten der Kammer und erhöhen die Prozesseffizienz.
  • Verbesserte thermische Stabilität; Diese Tiegel weisen eine erhöhte thermische Stabilität auf, reduzieren die Wärmeübertragung vom Tiegel selbst und gewährleisten eine konsistente und kontrollierte Verdampfung.

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FAQ

Was Sind Thermische Verdampfungsquellen?

Thermische Verdampfungsquellen sind Geräte, die in thermischen Verdampfungssystemen zur Abscheidung dünner Schichten auf Substraten verwendet werden. Sie funktionieren, indem sie ein Material (Verdampfungsmittel) auf hohe Temperaturen erhitzen, so dass es verdampft und dann auf einem Substrat kondensiert und einen dünnen Film bildet.

Was Sind Die Wichtigsten Arten Von Thermischen Verdampfungsquellen?

Zu den wichtigsten Arten von thermischen Verdampfungsquellen gehören Widerstandsverdampfungsquellen, Elektronenstrahlverdampfungsquellen und Blitzverdampfungsquellen. Jeder Typ verwendet unterschiedliche Methoden zur Erwärmung des Verdampfungsmittels, z. B. Widerstandsheizung, Elektronenstrahlheizung oder direkten Kontakt mit einer heißen Oberfläche.

Wie Funktionieren Thermische Verdampfungsquellen?

Thermische Verdampfungsquellen funktionieren, indem elektrischer Strom durch ein Widerstandsmaterial geleitet wird, das sich auf hohe Temperaturen erhitzt. Diese Wärme wird auf das Verdampfungsmittel übertragen, wodurch es schmilzt und verdampft. Der Dampf wandert dann durch eine Vakuumkammer und kondensiert auf einem Substrat, wobei ein dünner Film entsteht.

Welche Materialien Werden üblicherweise Für Verdampfertiegel Verwendet?

Verdampfungstiegel bestehen üblicherweise aus Materialien wie Wolfram, Tantal, Molybdän, Graphit oder Keramikverbindungen. Diese Materialien haben einen hohen Schmelzpunkt und eine gute Wärmeleitfähigkeit, wodurch sie für die beim Verdampfen erforderlichen Hochtemperaturbedingungen geeignet sind. Die Wahl des Tiegelmaterials hängt von Faktoren wie dem Verdampfungsmaterial, den gewünschten Filmeigenschaften und den Prozessparametern ab.

Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Von Thermischen Verdampfungsquellen?

Zu den Vorteilen thermischer Verdampfungsquellen gehören hohe Abscheideraten, gute Richtwirkung, hervorragende Gleichmäßigkeit und Kompatibilität mit verschiedenen Materialien. Außerdem sind sie relativ einfach und erschwinglich, so dass sie sich für eine Vielzahl von Anwendungen bei der Dünnschichtabscheidung eignen.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Von Abdampftiegeln?

Verdampfungstiegel bieten bei Dünnschichtabscheidungsprozessen mehrere Vorteile. Sie bieten eine kontrollierte Umgebung für die Verdampfung von Materialien und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Filmdicke und Gleichmäßigkeit. Tiegel halten hohen Temperaturen stand und sorgen für eine effiziente Wärmeübertragung, sodass konstante Verdampfungsraten gewährleistet sind. Sie sind in verschiedenen Größen und Formen erhältlich, um sich an unterschiedliche Verdampfungssysteme und Substratkonfigurationen anzupassen. Verdampfungstiegel ermöglichen auch die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, darunter Metalle, Halbleiter und Keramik. Sie lassen sich einfach be- und entladen und ermöglichen so einen schnellen Materialwechsel oder Prozessanpassungen. Insgesamt sind Verdampfungstiegel unverzichtbare Werkzeuge für Dünnschichtabscheidungstechniken und bieten Vielseitigkeit, Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit.

Für Welche Anwendungen Werden Thermische Verdampfungsquellen Eingesetzt?

Thermische Aufdampfquellen werden in verschiedenen Anwendungen eingesetzt, z. B. bei der Herstellung von optischen Beschichtungen, Halbleiterbauelementen und verschiedenen Arten von Dünnschichten. Sie sind besonders nützlich in Industriezweigen, die eine genaue Kontrolle über die Ablagerung von Materialien auf Substraten benötigen.

Wie Sollten Verdampfertiegel Gehandhabt Und Gewartet Werden?

Um ihre Langlebigkeit und Leistung zu gewährleisten, sollten Verdampfertiegel sorgfältig gehandhabt und gewartet werden. Tiegel sollten vor jedem Gebrauch gründlich gereinigt werden, um eventuelle Rückstände früherer Ablagerungen zu entfernen. Vermeiden Sie die Verwendung von abrasiven Materialien, die die Oberfläche des Tiegels beschädigen könnten. Fassen Sie die Tiegel beim Be- und Entladen mit sauberen Handschuhen oder Spezialwerkzeugen an, um eine Kontamination zu vermeiden. Bewahren Sie Tiegel bei Nichtgebrauch in einer trockenen und sauberen Umgebung auf, um Korrosion oder Zersetzung zu vermeiden. Eine regelmäßige Überprüfung der Tiegel auf Risse, Defekte oder Verschleißerscheinungen ist wichtig, um unerwartete Ausfälle während des Verdampfungsprozesses zu verhindern. Befolgen Sie die Empfehlungen des Herstellers für alle spezifischen Wartungsverfahren, wie z. B. Glühen oder Oberflächenbehandlung, um die Lebensdauer des Tiegels zu verlängern.
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