Bei der Verdampfungstechnik für Nanopartikel wird ein Ausgangsmaterial auf hohe Temperaturen erhitzt, wodurch es schmilzt und dann verdampft oder zu Dampf sublimiert. Die verdampften Atome kondensieren dann in fester Form auf Oberflächen und überziehen alles, was sich in der Sichtlinie der Kammer befindet, mit einer dünnen Schicht des Ausgangsmaterials. Diese Technik wird normalerweise in einer Hochvakuumkammer durchgeführt, um Gaszusammenstöße und unerwünschte Reaktionen zu minimieren.
Ausführliche Erläuterung:
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Erhitzen des Ausgangsmaterials:
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Der erste Schritt bei der Verdampfungstechnik ist die Erwärmung des Ausgangsmaterials. Dies kann durch verschiedene Methoden wie thermische Verdampfung, Elektronenstrahlverdampfung oder induktive Erwärmung erreicht werden. Bei der Elektronenstrahlverdampfung beispielsweise wird das Ausgangsmaterial mit einem Elektronenstrahl erhitzt, wodurch es schmilzt und verdampft. Bei der induktiven Erwärmung umgibt eine HF-Induktionsheizspule einen Tiegel, der das Ausgangsmaterial enthält, und die HF-Energie erwärmt das Material.Verdampfung in einem Vakuum:
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Der Verdampfungsprozess findet in einer Hochvakuumumgebung statt. Dieses Vakuum ist von entscheidender Bedeutung, da es den Dampfpartikeln ermöglicht, direkt zum Zielobjekt (Substrat) zu gelangen, ohne mit anderen Gasmolekülen zusammenzustoßen. Dieser direkte Weg gewährleistet eine gleichmäßigere und kontrollierte Ablagerung des Materials auf dem Substrat. Das Vakuum trägt auch dazu bei, unerwünschte Reaktionen und eingeschlossene Gasschichten zu vermeiden, die die Qualität der abgeschiedenen Schicht beeinträchtigen könnten.
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Abscheidung auf dem Substrat:
Sobald die Partikel verdampft sind, fließen sie zum Substrat, das sich in der Vakuumkammer über dem Ausgangsmaterial befindet. Hier kondensieren die Partikel zurück in einen festen Zustand und bilden einen dünnen Film auf dem Substrat. Dieser Film kann je nach gewünschter Anwendung zwischen 5 und 250 Nanometern dünn sein. Durch den Abscheidungsprozess können die Eigenschaften des Substrats verändert werden, ohne dass die Maßhaltigkeit wesentlich beeinträchtigt wird.Anwendungen:
