Die Temperatur der thermischen Verdampfung liegt normalerweise zwischen 250 und 350 Grad Celsius. In diesem Temperaturbereich werden die Ausgangsstoffe in einem thermischen Verdampfungssystem erhitzt, um sie von einem festen Zustand in Dampf zu überführen. Es ist wichtig zu beachten, dass die für die thermische Verdampfung erforderliche Temperatur nicht mit der Verdampfungs- oder Sublimationstemperatur bei Umgebungsbedingungen identisch ist. Der Prozess der thermischen Verdampfung wird unter Vakuumbedingungen durchgeführt, was niedrigere Temperaturen für die Freisetzung des Dampfes der Materialien ermöglicht.
Verschiedene Materialien haben unterschiedliche Temperaturanforderungen für die thermische Verdampfung. So kann beispielsweise Gold unter Vakuumbedingungen bei einer Temperatur von etwa 950 Grad Celsius verdampft werden, obwohl sein Siedepunkt unter Standardbedingungen mit 2700 Grad Celsius viel höher liegt. Die erforderlichen Temperaturen für die verschiedenen Materialien sind in allgemein zugänglichen Tabellen zu finden.
Es ist auch zu bedenken, dass die thermische Verdampfung nicht für alle Materialien geeignet ist. Für bestimmte Materialien, insbesondere hochschmelzende Metalle, kann eine Elektronenstrahlverdampfung erforderlich sein. Bei der Elektronenstrahlverdampfung wird das Ausgangsmaterial in einer Hochvakuumkammer mit einem Druck von weniger als 10-5 Torr erhitzt. Dieses Hochvakuum ist notwendig, um die Kollisionen zwischen den Quellatomen und den Hintergrundmaterialien zu minimieren. Die thermische Verdampfung arbeitet in der Regel bei Temperaturen unter 1800 Grad Celsius, während die Elektronenstrahlverdampfung höhere Temperaturen verträgt, z. B. 2000 Grad Celsius zum Verdampfen von Platin.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die thermische Verdampfung ein Prozess ist, bei dem Materialien in einer Vakuumkammer erhitzt werden, bis ihre Oberflächenatome genug Energie haben, um die Oberfläche zu verlassen und einen Dampf zu bilden. Der Temperaturbereich für die thermische Verdampfung liegt in der Regel zwischen 250 und 350 Grad Celsius, obwohl die spezifischen Temperaturanforderungen für verschiedene Materialien variieren.
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