MPCVD
Mikrowellen-Plasma-Chemische-Gasphasenabscheidungs-MPCVD-Maschinensystem-Reaktor für Labor und Diamantwachstum
Artikelnummer : KTMP315
Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen
- Mikrowellenleistung
- Mikrowellenfrequenz 2450±15MHZ
- Ausgangsleistung
- 1～10 KW kontinuierlich einstellbar
- Mikrowellenleckage
- ≤2MW/cm2
- Ausgangs-Hohlleiter-Schnittstelle
- WR340, 430 mit FD-340, 430 Standardflansch
- Probenhalter
- Durchmesser der Probentabelle≥70mm, effektive Nutzfläche≥64 mm
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MPCVD steht für Mikrowellen-Plasma-Chemische-Gasphasenabscheidung. Es wächst hochwertige Diamantfilme in Labors unter Verwendung von Kohlenstoffgas und Mikrowellenplasma.
MPCVD-System
MPCVD ist ein System zur Abscheidung dünner Schichten auf einem Substrat unter Verwendung einer Vakuumkammer, eines Mikrowellengenerators und eines Gaszuführungssystems. Ein Plasma wird in der Kammer durch einen Magnetron oder Klystron erzeugt, der Mikrowellen bei 2,45 GHz erzeugt. Das Gaszuführungssystem verfügt über MFCs, die in sccm kalibriert sind, um den Gasfluss zu steuern. Die Substrattemperatur wird durch das Plasma gesteuert und mit einem Thermoelement gemessen. Das Plasma erwärmt das Substrat und die Temperatur wird während der Abscheidung überwacht.
Anwendungen
MPCVD verspricht die kostengünstige Herstellung großer, hochwertiger Diamanten.
Die einzigartigen Eigenschaften von Diamant, wie Härte, Steifigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, geringe Wärmeausdehnung, Strahlungshärte und chemische Inertheit, machen ihn zu einem wertvollen Material. Die hohen Kosten, die begrenzte Größe und die Schwierigkeit, Verunreinigungen von natürlichen und synthetischen Hochdruck-Hochtemperatur-Diamanten zu kontrollieren, haben jedoch ihre Anwendungen eingeschränkt.
MPCVD ist die Hauptausrüstung für das Wachstum von Diamant-Edelsteinen und -Filmen, die entweder monokristallin oder polykristallin sein können. Die Halbleiterindustrie nutzt das Wachstum von Diamantfilmen extensiv für großflächige Diamant-Substrate sowie für die Diamantbearbeitungs- oder Bohrwerkzeugindustrie.
Im Vergleich zur HPHT-Methode für im Labor gezüchtete Diamanten ist die Mikrowellen-CVD-Methode für das großflächige Diamantwachstum zu geringeren Kosten vorteilhaft, was sie zu einer idealen Lösung für Halbleiterdiamanten, die Herstellung von optischen Diamanten und den großen Markt für Schmuckdiamanten macht.
Vorteile von MPCVD
MPCVD ist eine Diamantsynthesemethode mit Vorteilen gegenüber HFCVD und DC-PJ CVD. Es vermeidet Kontamination und ermöglicht die Verwendung mehrerer Gase. Es bietet eine sanfte Mikrowellenleistungsanpassung und eine stabile Temperaturregelung, wodurch der Verlust von Impfkristallen vermieden wird. MPCVD ist aufgrund einer großen, stabilen Plasmafläche vielversprechend für industrielle Anwendungen.
MPCVD produziert reinere Diamanten mit weniger Energie als HPHT. Es ermöglicht auch die Produktion größerer Diamanten.
Vorteile unseres MPCVD-Systems
Wir sind seit vielen Jahren tief in der Branche tätig und verfügen daher über einen riesigen Kundenstamm, der unseren Geräten vertraut und sie nutzt. Unsere MPCVD-Geräte laufen seit über 40.000 Stunden stabil und demonstrieren außergewöhnliche Stabilität, Zuverlässigkeit, Wiederholbarkeit und Kosteneffizienz. Weitere Vorteile unseres MPCVD-Systems sind:
- 3 Zoll Substratwachstumsfläche, max. Chargenbeladung bis zu 45 Diamanten
- 1-10Kw einstellbare Ausgangs-Mikrowellenleistung für geringeren Stromverbrauch
- Reiches erfahrenes Forschungsteam mit Unterstützung für fortschrittliche Diamantwachstumsrezepte
- Exklusives technisches Supportprogramm für Teams ohne Diamantwachstumserfahrung
Durch die Nutzung unserer angesammelten fortschrittlichen Technologie haben wir mehrere Runden von Upgrades und Verbesserungen an unserem MPCVD-System implementiert, was zu einer erheblich verbesserten Effizienz und reduzierten Gerätekosten geführt hat. Infolgedessen steht unsere MPCVD-Ausrüstung an der Spitze der technologischen Fortschritte und wird zu einem wettbewerbsfähigen Preis angeboten. Gerne können Sie uns konsultieren.
Arbeitsablauf
Die MPCVD-Maschine steuert den Fluss jedes Gasweges und den Hohlraumdruck, während Reaktantgase (wie CH4, H2, Ar, O2, N2 usw.) unter spezifischem Druck in den Hohlraum eingeleitet werden. Nach Stabilisierung des Luftstroms erzeugt der 6KW-Festkörper-Mikrowellengenerator Mikrowellen, die dann über den Wellenleiter in den Hohlraum eingeleitet werden.
Das Reaktionsgas wandelt sich unter dem Mikrowellenfeld in einen Plasmazustand um und bildet eine Plasma-Kugel, die über dem Diamant-Substrat schwebt. Die hohe Temperatur des Plasmas erwärmt das Substrat auf eine bestimmte Temperatur. Überschüssige Wärme, die im Hohlraum erzeugt wird, wird von der Wasserkühleinheit abgeführt.
Um optimale Wachstumsbedingungen während des MPCVD-Einkristall-Diamantwachstumsprozesses zu gewährleisten, passen wir Faktoren wie Leistung, Gasquellen-Zusammensetzung und Hohlraumdruck an. Da die Plasma-Kugel die Hohlraumwand nicht berührt, ist der Diamantwachstumsprozess frei von Verunreinigungen, wodurch die Qualität des Diamanten verbessert wird.
Details & Teile
Mikrowellensystem
Reaktionskammer
Gasflusssystem
Vakuum- und Sensorsystem
Technische Spezifikationen
| Mikrowellensystem |
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| Reaktionskammer |
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| Probenhalter |
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| Gasflusssystem |
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| Kühlsystem |
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| Temperatursensor |
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| Steuerungssystem |
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| Optionale Funktion |
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Warnungen
Die Sicherheit des Bedieners steht an erster Stelle! Bitte bedienen Sie das Gerät mit Vorsicht. Das Arbeiten mit brennbaren, explosiven oder giftigen Gasen ist sehr gefährlich. Der Bediener muss alle erforderlichen Vorsichtsmaßnahmen treffen, bevor er das Gerät in Betrieb nimmt. Das Arbeiten mit Überdruck in den Reaktoren oder Kammern ist gefährlich. Der Bediener muss die Sicherheitsvorschriften strikt einhalten. Besondere Vorsicht ist auch beim Umgang mit luftreaktiven Materialien geboten, insbesondere unter Vakuum. Durch ein Leck kann Luft in das Gerät eindringen und eine heftige Reaktion hervorrufen.
Für Sie entworfen
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FAQ
Was Ist Eine CVD-Diamantmaschine?
Welche Arten Von Diamantwachstumsmaschinen Gibt Es?
Was Sind Die Vorteile Von Im Labor Gezüchteten Diamanten?
Was Ist Das Grundprinzip Von CVD?
Was Kostet Eine CVD-Wachstumsmaschine?
Welche Verschiedenen Arten Von CVD-Methoden Gibt Es?
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Produkte
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