Ein Quarzrohr kann eine erhebliche Menge an Druck aushalten. Die Konstruktionszugfestigkeit für Quarzglas mit guter Oberflächenqualität liegt bei über 4,8 x 10^7 Pa (7.000 psi). Das bedeutet, dass das Quarzrohr einem Druck von bis zu 4,8 x 10^7 Pa oder 7.000 psi standhalten kann, ohne zu brechen oder zu versagen.
Im Zusammenhang mit dem erwähnten LPCVD-Ofensystem ist der Arbeitsdruck mit 45.000 psi (310 MPa) angegeben. Dies deutet darauf hin, dass das in diesem System verwendete Quarzrohr für einen Druck von bis zu 45.000 psi ohne Probleme ausgelegt ist.
Außerdem ist die Vakuumkammer in dem genannten Abscheidungssystem in der Lage, in kurzer Zeit einen Mindestdruck zu erreichen. Der Druck in der Vakuumkammer spielt eine entscheidende Rolle für den Prozess der Probenbedeckung und die Qualität der abgeschiedenen Dünnschicht. Um den Druck in der Kammer genau zu überwachen, werden zuverlässige und genaue Druckmessgeräte verwendet. Das in dem genannten Abscheidungssystem verwendete Druckmessgerät ist in der Lage, den Druck im Bereich von Atmosphärendruck bis zu 10^-9 Torr anzuzeigen.
Es sei auch darauf hingewiesen, dass die Aufrechterhaltung eines niedrigen Drucks bei bestimmten Verfahren wichtig ist, um chemische Auswirkungen auf die Probe zu vermeiden. Bei einer Kohlenstoffatmosphäre in einem Vakuumofen ist es beispielsweise notwendig, den Druck unter 1 oder 2 mm zu halten, um nennenswerte chemische Auswirkungen auf die Probe zu vermeiden. Zum Schutz der Probe vor Kohlenstoffdampf oder -partikeln wird in der Regel ein feuerfestes Porzellanrohr verwendet, das an einem Ende verschlossen und in den kühlen Teil des Ofens gehängt wird. Dieses Rohr trägt dazu bei, den Übertritt von Reduktionsgasen an der Probe vorbei zu verringern, wodurch die Reduktionswirkung insgesamt reduziert wird.
Insgesamt hängt der spezifische Druck, den ein Quarzrohr aushalten kann, von seiner Konstruktion und Qualität ab. In den genannten Referenzen sind die Quarzrohre für hohe Drücke ausgelegt, wobei das LPCVD-Ofensystem einen Arbeitsdruck von 310 MPa (45.000 psi) aufweist.
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