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Ein Target in einem Sputtering-Verfahren ist ein festes Stück Material, das als Quelle für die Erzeugung einer Dünnschicht auf einem Substrat dient.Es hat in der Regel eine flache oder zylindrische Form und wird mit Energie beschossen, um Partikel in Atomgröße auszustoßen, die sich dann auf dem Substrat ablagern.Das Target muss groß genug sein, um die unbeabsichtigte Zerstäubung anderer Komponenten zu vermeiden, und seine Oberfläche ist immer größer als die tatsächlich zerstäubte Fläche.Im Laufe der Zeit entwickeln gebrauchte Targets tiefere Rillen oder Bereiche mit überwiegender Zerstäubung, die oft als "Rennspuren" bezeichnet werden.

Die wichtigsten Punkte werden erklärt:

1. Definition und Rolle eines Targets beim Sputtern:

   • Das Target ist das feste Material, das im Sputtering-Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht verwendet wird.
   • Es dient als Rohmaterialquelle, aus der Partikel in Atomgröße herausgeschleudert und auf einem Substrat abgeschieden werden.

2. Physikalische Merkmale eines Targets:

   • Die Targets haben in der Regel eine flache oder zylindrische Form.
   • Sie müssen groß genug sein, um ein unbeabsichtigtes Sputtern von metallischen Lagern oder anderen Komponenten zu verhindern.
   • Die Oberfläche des Targets ist immer größer als die tatsächlich zu beschichtende Fläche, um eine gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten und Randeffekte zu vermeiden.

3. Sputterprozess und Target-Interaktion:

   • Beim Magnetron-Sputtern wird ein Magnetron in der Nähe des Targets platziert und ein Inertgas (z. B. Argon) in die Vakuumkammer eingeleitet.
   • Zwischen dem Target und dem Substrat wird eine Hochspannung angelegt, die die Gasionen auf das Target beschleunigt.
   • Der Beschuss des Targets durch diese Ionen schleudert Partikel in Atomgröße aus, die dann einen dünnen Film auf dem Substrat bilden.

4. Targetverschleiß und \"Rennspuren\":

   • Mit der Zeit bilden sich auf der Oberfläche des Targets tiefere Rillen oder Bereiche, in denen das Sputtern vorherrscht.
   • Diese abgenutzten Bereiche werden aufgrund ihres charakteristischen Aussehens oft als "Rennspuren" bezeichnet.
   • Die Bildung von Rennspuren deutet darauf hin, dass sich das Ziel dem Ende seiner Nutzungsdauer nähert.

5. Beispiel:Gold-Ziele:

   • Goldtargets sind Scheiben aus reinem Gold, die speziell für die Abscheidung von Goldschichten verwendet werden.
   • Sie werden mit Energie beschossen, um Goldatome auszustoßen, die sich dann auf dem Substrat ablagern und eine gleichmäßige Goldschicht bilden.

6. Bedeutung von Größe und Form des Ziels:

   • Die Größe und Form des Targets sind entscheidend für eine effiziente und gleichmäßige Zerstäubung.
   • Eine größere Targetfläche hilft, die unbeabsichtigte Zerstäubung anderer Komponenten zu vermeiden, und gewährleistet gleichmäßige Abscheidungsraten.

7. Anwendung in der Dünnschichtabscheidung:

   • Targets sind in verschiedenen Branchen unverzichtbar, z. B. bei der Halbleiterherstellung, in der Optik und bei dekorativen Beschichtungen.
   • Die Wahl des Targetmaterials hängt von den gewünschten Eigenschaften der Dünnschicht ab, wie Leitfähigkeit, Reflexionsvermögen oder Korrosionsbeständigkeit.

Wenn ein Käufer von Sputteranlagen oder Verbrauchsmaterialien diese wichtigen Punkte kennt, kann er fundierte Entscheidungen über die Auswahl und Wartung von Targets treffen, um den Sputterprozess zu optimieren und qualitativ hochwertige Dünnfilmbeschichtungen zu erzielen.

Zusammenfassende Tabelle:

Hauptaspekt	Einzelheiten
Definition	Festes Material, das zur Herstellung von Dünnfilm-Beschichtungen durch Sputtern verwendet wird.
Form	In der Regel flach oder zylindrisch.
Größe	Größer als die zu besputternde Fläche, um unbeabsichtigtes Sputtern zu vermeiden.
Prozess	Beschuss mit Energie, um Partikel auszuschleudern, die sich auf einem Substrat ablagern.
Abnutzung und Verschleiß	Im Laufe der Zeit entstehen "Rennspuren", die auf das nahende Ende der Nutzungsdauer hinweisen.
Beispiel	Goldtargets für die Abscheidung dünner Goldschichten.
Anwendungen	Verwendung in Halbleitern, Optik und dekorativen Beschichtungen.

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