Die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) ist ein Verfahren zur Abscheidung einer dünnen Materialschicht auf einer Substratoberfläche in einer Vakuumumgebung.
PVD ist eine Verdampfungsbeschichtungstechnik, bei der das abzuscheidende Material zunächst in fester Form vorliegt.
PVD-Verfahren werden unter Vakuumbedingungen durchgeführt und umfassen vier Hauptschritte: Verdampfung, Transport, Reaktion und Abscheidung.
Die 5 wichtigsten Schritte werden erklärt
1. Verdampfung
Bei der Verdampfung wird das Target mit einer hochenergetischen Quelle beschossen, z. B. mit einem Elektronen- oder Ionenstrahl.
Dadurch werden Atome von der Oberfläche des Targets abgelöst, verdampft und das Material auf dem Werkstück abgeschieden.
2. Transport
Während des Transportschritts bewegen sich die verdampften Atome vom Target zum Substrat oder zum zu beschichtenden Werkstück.
3. Reaktion
Beim Reaktionsschritt reagieren die Atome des Abscheidungsmaterials mit dem Gas während der Transportphase.
4. Abscheidung
In der Abscheidungsstufe schließlich reagieren die verdampften und transportierten Atome mit der Substratoberfläche und bilden einen dünnen Film oder eine Schicht.
5. Anwendung
Mit dem PVD-Verfahren können dünne Schichten aus verschiedenen Materialien, häufig Metallen, auf Oberflächen abgeschieden werden, um sie mit einer harten und dauerhaften Beschichtung zu versehen.
Es ist ein alternatives Verfahren zur Galvanisierung und kann z. B. bei architektonischen Eisenwaren und medizinischen Geräten eingesetzt werden.
PVD bietet im medizinischen Bereich mehrere Vorteile, da es Atome ermöglicht, Geräte in geeigneter Weise zu beschichten.
Da die Geräte in der Nähe oder im Inneren des Körpers verwendet werden, gewährleistet das Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung eine ordnungsgemäße Ablagerung des Beschichtungsmaterials.
Insgesamt ist die PVD eine vielseitige und weit verbreitete Technik zur Abscheidung dünner Schichten oder Beschichtungen auf verschiedenen Oberflächen, die eine verbesserte Haltbarkeit und andere wünschenswerte Eigenschaften aufweisen.
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