Die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) ist ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten.
Dabei wird ein festes Material in einen Dampf verwandelt.
Dieser Dampf wird dann durch einen Niederdruckbereich transportiert.
Schließlich kondensiert der Dampf auf einem Substrat und bildet eine dünne Schicht.
Dieser Prozess findet in der Regel unter Vakuumbedingungen statt.
5 wichtige Punkte, die Sie über die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) wissen sollten
1. Prozess-Schritte
Der Prozess umfasst mehrere Schritte.
Zunächst wird das Ausgangsmaterial vergast.
Anschließend wird der Dampf transportiert.
Schließlich kondensiert er auf dem Substrat.
2. Vakuumbedingungen
PVD wird normalerweise unter Vakuumbedingungen durchgeführt.
Dies trägt dazu bei, die Reinheit und Qualität der Dünnschicht zu erhalten.
3. Breite industrielle Nutzung
PVD wird in verschiedenen Industriezweigen eingesetzt.
Es erzeugt harte, korrosionsbeständige Beschichtungen.
Diese Beschichtungen haben eine hohe Temperaturtoleranz und eine starke Haftung.
4. Gängige PVD-Verfahren
Die gängigsten PVD-Methoden sind Sputtern und Verdampfen.
Diese Verfahren unterscheiden sich von der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD).
Bei PVD kommen physikalische Prozesse zum Einsatz, nicht chemische.
5. Umweltfreundlichkeit
PVD gilt als umweltfreundlich.
Es kommt ohne gefährliche Chemikalien aus.
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