Verdampfungsmaterialien sind Stoffe, die zur Bildung dünner Filme oder Beschichtungen auf Oberflächen durch den Prozess der Verdampfung verwendet werden. Diese Materialien werden auf eine hohe Temperatur erhitzt, bis sie anfangen zu verdampfen. Im Vakuum gelangt das verdampfte Material direkt auf die Oberfläche eines Objekts, in der Regel ein Substrat, das beschichtet werden soll. Dort beginnt das verdampfte Material zu kondensieren und bildet einen dünnen Film auf dem Substrat.
Bei der Verdampfung verwendete Materialien:
Die bei der Verdampfung verwendeten Materialien reichen von reinen Metallen bis zu verschiedenen Verbindungen wie Antimoniden, Arseniden, Boriden, Carbiden, Fluoriden, Nitriden, Oxiden, Seleniden, Siliziden, Sulfiden und Telluriden. Beispiele hierfür sind Gold, das häufig für optische Beschichtungen verwendet wird, sowie verschiedene Oxide und Nitride, die bei der Herstellung von Solarzellen und Sensoren eine wichtige Rolle spielen.Reinheitsgrade:
Der Reinheitsgrad von Aufdampfmaterialien ist von entscheidender Bedeutung und liegt je nach Anwendung in der Regel zwischen 99,9 % und 99,99999 %. Ein hoher Reinheitsgrad ist unerlässlich, um die Integrität und Leistung der Beschichtungen zu gewährleisten, insbesondere bei empfindlichen Anwendungen wie optischen Komponenten und medizinischen Geräten.
Formen von Aufdampfmaterialien:
- Aufdampfmaterialien gibt es in verschiedenen Formen, darunter Brocken, Folien, Pellets, Drähte, Stäbe, Kugeln und Butzen. Die Wahl der Form hängt von der spezifischen Verdampfungstechnik und der einfachen Handhabung und Erhitzung während des Verdampfungsprozesses ab.Thermische Verdampfungstechniken:
- Für die thermische Verdampfung werden verschiedene Techniken verwendet, darunter:
- Verdampfung durch Widerstandsheizung: Das Material wird in einem widerstandsbeheizten Tiegel erhitzt, und der Dampf kondensiert auf dem Substrat.
- Elektronenstrahlverdampfung: Ein Elektronenstrahl wird auf das Material gerichtet, wodurch es sich schnell erhitzt und verdampft.
Blitzverdampfung: Das Material wird mit einem Hochstromimpuls oder einer intensiven Wärmequelle schnell auf seine Verdampfungstemperatur erhitzt.
Induktionserwärmung Verdampfung: Bei der Induktionserwärmung werden im Ausgangsmaterial Ströme induziert, die zu einer Erwärmung und Verdampfung führen.
Quellen des Verdampfungsmittels:
