Sputtertargets werden in einem als Sputtern bezeichneten Verfahren verwendet, um dünne Schichten von Materialien auf verschiedene Substrate aufzubringen. Die Anwendungen dieses Verfahrens reichen von der Elektronik bis zu dekorativen Beschichtungen.
1. Der Prozess des Sputterns
Sputtertargets werden in einer Vakuumkammer platziert.
Ein kontrolliertes Gas, in der Regel Argon, wird in die Kammer eingeleitet.
Die Ionen im Gas werden durch ein elektrisches Feld auf das Target beschleunigt.
Dies bewirkt, dass Atome aus dem Target herausgeschleudert werden.
Diese Atome wandern dann durch die Kammer und lagern sich auf einem Substrat ab und bilden einen dünnen Film.
Diese Methode ermöglicht eine präzise und gleichmäßige Abscheidung von Materialien.
Es eignet sich für Anwendungen, die eine hohe Präzision erfordern.
2. Arten von Sputtering-Targets
Sputtertargets können metallisch oder nicht-metallisch sein.
Sie werden häufig aus Edelmetallen oder anderen Materialien mit spezifischen, für die Anwendung erforderlichen Eigenschaften hergestellt.
Sie können verschiedene Größen und Formen haben, je nach den Anforderungen der Sputteranlage und der vorgesehenen Anwendung.
Einige Targets sind mit anderen Metallen verbunden, um ihre Festigkeit und Haltbarkeit zu erhöhen.
3. Anwendungen von Sputtering-Targets
Elektronik- und Informationsindustrie
Sputtertargets sind von entscheidender Bedeutung für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen, Informationsspeichern, Flüssigkristallanzeigen und elektronischen Steuergeräten.
Sie werden verwendet, um leitende und isolierende Schichten auf Siliziumwafern und anderen Substraten abzuscheiden.
Glasbeschichtungsindustrie
In dieser Industrie werden Sputtertargets verwendet, um dünne Schichten auf Glasoberflächen aufzubringen.
Dadurch werden deren Eigenschaften wie Lichtdurchlässigkeit, Wärmereflexion und Haltbarkeit verbessert.
Abriebfeste und hochtemperaturkorrosionsbeständige Industrie
Sputtertargets werden zur Herstellung von Beschichtungen verwendet, die extremen Bedingungen standhalten können.
Dadurch werden die Lebensdauer und die Leistung verschiedener Komponenten verbessert.
Hochwertige Dekorationsartikelindustrie
Sie werden verwendet, um dekorative Beschichtungen auf verschiedene Produkte aufzubringen.
Dadurch werden deren Ästhetik und Haltbarkeit verbessert.
Andere Industrien
Sputtertargets werden auch in Dünnschicht-Solarzellen, in der Optoelektronik und in anderen Bereichen der Hochtechnologie eingesetzt.
4. Vorteile des Sputterns
Sputtern ist vielseitig.
Es ist in der Lage, Materialien mit hohen Schmelzpunkten und niedrigen Dampfdrücken abzuscheiden.
Es kann eine breite Palette von Materialien verarbeiten, darunter Metalle, Halbleiter, Isolatoren und Verbindungen, ohne dass es zu einer Zersetzung oder Fraktionierung kommt.
Dies ermöglicht die Herstellung dünner Schichten mit einer dem Zielmaterial ähnlichen Zusammensetzung, einschließlich komplexer supraleitender Schichten.
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