Ein industrielles Vakuumsystem ist ein komplexer Aufbau, der Vakuumbehälter, verschiedene Arten von Pumpen (mechanische, Booster-, Diffusions-, Turbomolekular- und Haltepumpen), zugehörige Rohrleitungen, Verteiler, Ventile, Vakuummessgeräte und Ableiter umfasst. Diese Systeme sind in der industriellen Fertigung für Prozesse wie Verpackung, Entgasung, Trocknung und Abfüllung von entscheidender Bedeutung. Sie funktionieren, indem sie Luft, Gase und andere Moleküle aus einer Kammer entfernen, um ein Vakuum zu erzeugen, das für zahlreiche industrielle und wissenschaftliche Anwendungen unerlässlich ist.
Komponenten und Funktionsweise:
Das Herzstück eines industriellen Vakuumsystems ist der Vakuumbehälter, der mit mehreren Pumpentypen verbunden ist. Diese Pumpen sind für einen weiten Druckbereich ausgelegt, in der Regel von 1,3 bis 13,3 mbar. Das System umfasst mechanische Pumpen zur Erzeugung des Anfangsvakuums, Booster-Pumpen zur Erhöhung des Vakuumniveaus, Diffusionspumpen für Hochvakuum und Turbomolekularpumpen für sehr hohe Vakuumniveaus. Jeder Pumpentyp erfüllt eine bestimmte Funktion im Prozess der Vakuumerzeugung und stellt sicher, dass das Vakuumniveau aufrechterhalten und bei Bedarf verbessert wird.Anwendungen:
Industrielle Vakuumsysteme sind vielseitig und finden in einer Vielzahl von Branchen Anwendung. In der verarbeitenden Industrie werden sie für Vakuum-Entlüftungsprozesse, das Formen von Verbundwerkstoffen und die Herstellung von elektrischen Lampen, Vakuumröhren und Kathodenstrahlröhren verwendet. In der Halbleiterindustrie sind sie unverzichtbar für Verfahren wie Ionenimplantation, Trockenätzung und Abscheidungsverfahren wie PVD, ALD, PECVD und CVD. Auch in der Elektronenmikroskopie, bei medizinischen Absaugverfahren, der Urananreicherung und bei medizinischen Anwendungen wie der Strahlentherapie und Radiochirurgie spielen sie eine entscheidende Rolle. Darüber hinaus werden Vakuumpumpen in analytischen Instrumenten und Massenspektrometern eingesetzt, um die für eine genaue Analyse erforderlichen Vakuumbedingungen zu schaffen.
Betrieb:
Das grundlegende Funktionsprinzip industrieller Vakuumpumpen besteht in der Entfernung von Luft und anderen Molekülen aus der Vakuumkammer. Mit abnehmendem Druck wird die Entfernung zusätzlicher Moleküle immer schwieriger, so dass verschiedene Pumpentypen in einer Reihe eingesetzt werden müssen, um das gewünschte Vakuumniveau zu erreichen und aufrechtzuerhalten. Diese Komplexität stellt sicher, dass das Vakuumsystem in dem großen Druckbereich, der in der Industrie benötigt wird, effektiv arbeiten kann.
