Die Gefahren von CNT (Kohlenstoff-Nanoröhrchen) lassen sich in mehrere Aspekte unterteilen:
1. Lungenexposition: Das Einatmen von CNT kann zu Lungenentzündungen führen, die mit der Entwicklung von Lungenfibrose und -krebs in Verbindung gebracht werden. Das bedeutet, dass CNTs schädliche Auswirkungen auf das Atmungssystem haben können, wenn sie eingeatmet werden.
2. Giftige gasförmige Vorläuferstoffe: Bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), die für das Wachstum von CNT verwendet wird, können bestimmte gasförmige Ausgangsstoffe wie Cu(acac)2, B2H6 oder Ni(CO)4 verwendet werden. Diese Grundstoffe sind giftig, ätzend und explosiv. Wenn sie nicht mit Vorsicht gehandhabt und geliefert werden, können sie Risiken für die Umwelt und die Gesundheit derjenigen darstellen, die ihnen ausgesetzt sind.
3. Giftige gasförmige Nebenprodukte: Während des CVD-Prozesses können gasförmige Nebenprodukte wie HF, H2 oder CO entstehen. Diese Nebenprodukte sind hochgiftig und müssen bei ihrer Freisetzung aus der Vakuumkammer ordnungsgemäß behandelt werden, um eine Gefährdung der Umwelt und von Personen zu vermeiden.
4. Hochtemperatur-Beschichtung: Bei CVD-Verfahren werden Dünnfilmbeschichtungen bei sehr hohen Temperaturen abgeschieden. Einige Trägermaterialien weisen jedoch eine schlechte thermische Stabilität auf und können diesen hohen Temperaturen nicht standhalten. Die Verwendung solcher Materialien kann zum Versagen des CVD-Prozesses und zu potenziellen Gefahrensituationen führen.
Es sei darauf hingewiesen, dass CVD zwar seine Vorteile hat, wie z. B. die Möglichkeit, eine gleichmäßige Schichtdicke auf Substraten aufzubauen, dass aber auch Vorsichtsmaßnahmen getroffen werden müssen, um die Sicherheit derjenigen zu gewährleisten, die mit CVD-Verfahren arbeiten. Die Einhaltung von Standardarbeitsanweisungen (SOP) ist notwendig, um die Risiken im Zusammenhang mit toxischen Ausgangsstoffen und Nebenprodukten bei der CVD zu minimieren.
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