Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist ein komplexes Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf Substraten.
Was sind die 6 Schritte der CVD?
1. Einbringen von chemischen Vorläufern
Der erste Schritt im CVD-Verfahren besteht darin, die chemischen Vorläufer in den CVD-Reaktor einzuführen.
Diese Vorläuferchemikalien sind die Reaktionsgase, die chemische Reaktionen eingehen, um die gewünschte dünne Schicht auf dem Substrat zu bilden.
2. Transport der Vorläufermoleküle
Im Reaktor angekommen, müssen die Vorläufermoleküle zur Oberfläche des Substrats transportiert werden.
Dieser Transport wird in der Regel durch eine Kombination aus Flüssigkeitstransport und Diffusion erreicht.
3. Adsorption an der Substratoberfläche
Die Vorläufermoleküle werden dann an der Oberfläche des Substrats adsorbiert.
Unter Adsorption versteht man die Anlagerung dieser Moleküle an die Substratoberfläche.
4. Chemische Reaktionen
Die adsorbierten Vorläufermoleküle gehen chemische Reaktionen mit dem Substratmaterial ein, um den gewünschten dünnen Film zu bilden.
Diese Reaktionen können auf der Oberfläche des Substrats oder in dessen unmittelbarer Nähe stattfinden.
5. Desorption von Nebenprodukten
Bei den chemischen Reaktionen werden Nebenproduktmoleküle gebildet.
Diese Nebenproduktmoleküle müssen von der Substratoberfläche desorbiert werden, um Platz für weitere eintreffende Vorläufermoleküle zu schaffen.
Unter Desorption versteht man die Freisetzung dieser Moleküle von der Oberfläche.
6. Evakuierung der Nebenprodukte
Die gasförmigen Nebenprodukte der Reaktionen werden anschließend aus der Reaktionskammer abgesaugt.
Dies ist notwendig, um eine saubere Umgebung für den Abscheidungsprozess zu erhalten.
Es ist wichtig zu wissen, dass das CVD-Verfahren unter verschiedenen Bedingungen ablaufen kann, z. B. bei Atmosphärendruck-CVD, Niederdruck-CVD und Ultrahochvakuum-CVD.
Darüber hinaus gibt es verschiedene Klassifizierungen und Variationen von CVD, wie z. B. plasmaunterstützte CVD, laserunterstützte CVD und photounterstützte CVD, bei denen unterschiedliche Energiequellen für die Aktivierung der Reaktionsgase eingesetzt werden.
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