Zwei gängige Methoden zur Erwärmung des Ausgangsmaterials beim Aufdampfen sind die Widerstandsheizung und die Elektronenstrahlheizung.
1. Widerstandsheizung: Bei dieser Methode wird ein Heizelement oder ein Heizfaden verwendet, um das Ausgangsmaterial zu erhitzen. Der Heizdraht, der aus Materialien wie Wolfram, Molybdän, Quarz oder Graphit besteht, wird bis zu seinem Schmelzpunkt erhitzt, indem ein hoher Strom durch einen Widerstandsdraht oder eine Folie geleitet wird, die das Metallmaterial enthält. Mit der Erhitzung des Glühfadens erwärmt sich auch das Ausgangsmaterial und verdampft oder sublimiert schließlich zu einem Dampf.
2. Elektronenstrahl-Erwärmung: Bei dieser Methode wird ein Elektronenstrahl zur Erhitzung des Ausgangsmaterials verwendet. Der von einer Elektronenkanone erzeugte Elektronenstrahl wird auf das Ausgangsmaterial gerichtet, wodurch es sich erhitzt und verdampft oder sublimiert. Die Elektronenstrahlverdampfung ermöglicht eine präzise Steuerung des Erhitzungsprozesses und hohe Abscheideraten.
Diese beiden Erhitzungsmechanismen werden üblicherweise bei Verdampfungsprozessen eingesetzt, um das Ausgangsmaterial auf hohe Temperaturen zu erhitzen, so dass es verdampft und auf dem Substrat kondensiert. Jede Methode hat ihre Vorteile und wird auf der Grundlage von Faktoren wie dem Beschichtungsmaterial, der Abscheidungsrate, der Beschichtungsqualität und der Kontrolle der Schichtdicke ausgewählt.
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