Bei der Verdampfung ist die Erwärmung des Ausgangsmaterials ein entscheidender Schritt.
Hierfür gibt es zwei Hauptmethoden: die Widerstandserhitzung und die Elektronenstrahlheizung.
Was sind zwei gängige Methoden zur Erwärmung des Ausgangsmaterials bei der Verdampfung?
1. Widerstandsheizung
Bei der Widerstandserhitzung wird ein Heizelement oder ein Heizdraht verwendet, um das Ausgangsmaterial zu erhitzen.
Der Heizdraht besteht in der Regel aus Materialien wie Wolfram, Molybdän, Quarz oder Graphit.
Ein großer Strom wird durch einen Widerstandsdraht oder eine Folie geleitet, die das Metallmaterial enthält.
Wenn sich der Glühfaden erwärmt, erreicht er seinen Schmelzpunkt.
Diese Wärme wird auf das Ausgangsmaterial übertragen, so dass es verdampft oder zu Dampf sublimiert.
2. Elektronenstrahlheizung
Bei der Elektronenstrahlheizung wird ein Elektronenstrahl zur Erwärmung des Ausgangsmaterials verwendet.
Der Elektronenstrahl wird von einer Elektronenkanone erzeugt.
Dieser Strahl wird auf das Ausgangsmaterial gerichtet, wodurch es sich erhitzt und verdampft oder sublimiert.
Die Elektronenstrahlverdampfung bietet eine genaue Kontrolle über den Erhitzungsprozess.
Außerdem ermöglicht es hohe Abscheideraten.
Sowohl die Widerstandsheizung als auch die Elektronenstrahlheizung werden üblicherweise in Verdampfungsprozessen eingesetzt.
Bei diesen Verfahren wird das Ausgangsmaterial auf hohe Temperaturen erhitzt, wodurch es verdampft und auf dem Substrat kondensiert.
Jede Methode hat ihre eigenen Vorteile und wird auf der Grundlage von Faktoren wie Beschichtungsmaterial, Abscheidungsrate, Beschichtungsqualität und Schichtdickenkontrolle ausgewählt.
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