Technisches Team · Kintek Solution

Unter Dampfabscheidung versteht man den Prozess, bei dem aus verdampften Materialien auf chemischem oder physikalischem Weg ein fester Film auf einer Oberfläche gebildet wird. Dieses Verfahren ist für verschiedene industrielle Anwendungen von entscheidender Bedeutung, insbesondere für die Herstellung von Dünnschichten für Elektronik, Optik und medizinische Geräte.

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD):

1. Bei der CVD erfolgt die Abscheidung eines festen Films durch eine chemische Reaktion in der Dampfphase. Der Prozess umfasst in der Regel drei Hauptschritte:Verdampfung einer flüchtigen Verbindung:
2. Die abzuscheidende Substanz wird zunächst verdampft. Dies wird häufig durch Erhitzen eines Vorläufermaterials auf eine hohe Temperatur erreicht, wodurch es in die Gasphase verdampft.Thermische Zersetzung oder chemische Reaktion:
3. Der Dampf wird thermisch in Atome und Moleküle zerlegt oder reagiert mit anderen Dämpfen oder Gasen auf der Substratoberfläche. Dieser Schritt ist entscheidend, da er die für die Filmbildung erforderliche chemische Umwandlung einleitet.Abscheidung der nichtflüchtigen Reaktionsprodukte:

Die Produkte der chemischen Reaktion, die sich nun in einem festen Zustand befinden, lagern sich auf dem Substrat ab und bilden einen dünnen Film. Diese Abscheidung wird durch Faktoren wie Temperatur und Druck beeinflusst, die bei CVD-Verfahren in der Regel hoch sind.Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD):

1. Beim PVD-Verfahren wird das Material auf einem Substrat von einem festen Zustand in einen Dampfzustand und wieder zurück in einen festen Zustand überführt. Der Prozess umfasst:
2. Verdampfung des festen Materials: Das zu beschichtende Material wird erhitzt, bis es verdampft. Dies kann durch verschiedene Methoden erreicht werden, z. B. durch Sputtern, Verdampfen oder Elektronenstrahlheizung.

Transport und Abscheidung:

Das verdampfte Material wird dann durch ein Vakuum oder eine Niederdruckumgebung transportiert und auf dem Substrat abgeschieden. Die Atome oder Moleküle kondensieren auf dem Substrat und bilden einen dünnen Film. Die Dicke und die Eigenschaften des Films lassen sich durch die Dauer der Abscheidung und die Energie der verdampften Teilchen steuern.