Die Prüfung auf Leckagen in einem Vakuumofen ist von entscheidender Bedeutung, um dessen ordnungsgemäße Funktion zu gewährleisten und Produktionsunterbrechungen zu vermeiden.
Es gibt verschiedene Methoden, um Lecks in einem Vakuumofen aufzuspüren.
5 Methoden werden erklärt
1. Geräuschdetektion
Eine Methode besteht darin, auf Geräusche zu achten, die von der undichten Stelle ausgehen.
Ein zischendes oder pfeifendes Geräusch kann auf das Vorhandensein eines Lecks hinweisen.
2. Vakuumabbau
Eine andere Methode besteht darin, mit einem Lösungsmittel in das Leck einzudringen und den Vakuumabfall an den Vakuummessgeräten zu beobachten.
Wenn ein Leck vorhanden ist, sinkt der Vakuumpegel.
3. Helium-Lecksuchgerät
Die Verwendung eines Helium-Lecksuchgeräts, z. B. eines Massenspektrometers, ist eine hochempfindliche Methode zur Feststellung von Lecks.
Heliumgas wird in den Ofen eingeleitet, und wenn es ein Leck gibt, entweicht das Helium und kann vom Lecksucher nachgewiesen werden.
4. Leckratenprüfung
Zur Durchführung eines Leckraten-Tests sollte der Ofen auf ein hohes Vakuumniveau, z. B. 3 x 10-5 Torr, am Ionenmessgerät abgepumpt werden.
Der Wert des Vakuums auf dem TC-Vakuummeter sollte aufgezeichnet werden.
Nachdem die Vakuumkammer von den Pumpen getrennt wurde, sollte das Vakuumniveau am Vakuum-TC-Manometer nach 15 Minuten erneut gemessen werden.
Die Differenz zwischen dem anfänglichen Vakuumwert und dem 15-Minuten-Wert wird mit 4 multipliziert, um die Leckrate der Vakuumkammer pro Stunde zu berechnen.
Die Akzeptanzkriterien für die Leckrate können je nach den geltenden Spezifikationen variieren, aber eine Leckrate von 20 Mikrometern/Stunde ist im Allgemeinen für die meisten Anwendungen akzeptabel.
Ein gut abgedichteter Ofen kann jedoch eine Leckrate von weniger als 5 Mikrometern/Stunde erreichen, einige erreichen sogar einen Wert von weniger als 1 Mikrometer/Stunde.
5. Vorbeugende Wartung
Um Lecks in Vakuumöfen zu vermeiden, ist ein umfassendes Programm zur vorbeugenden Wartung unerlässlich.
Dazu gehören die ordnungsgemäße Pflege von Pumpen, O-Ringen und Flanschdichtflächen sowie die regelmäßige Inspektion von Vakuumzuführungen.
Die kontinuierliche Überwachung des Vakuumniveaus während der Verarbeitung kann ebenfalls dazu beitragen, potenzielle Probleme zu erkennen, bevor sie zu größeren Reparaturen führen.
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