Um ein Leck in einem Vakuumofen zu finden, gibt es mehrere Methoden, die angewendet werden können:
1. Geräuschdetektion: Eine Methode besteht darin, auf Geräusche zu achten, die von dem Leck ausgehen. Ein zischendes oder pfeifendes Geräusch kann auf das Vorhandensein eines Lecks hinweisen.
2. Vakuumabbau: Eine andere Methode besteht darin, ein Lösungsmittel zu verwenden, um in das Leck einzudringen und den Vakuumabfall an den Vakuummessgeräten zu beobachten. Wenn ein Leck vorhanden ist, sinkt der Vakuumpegel.
3. Helium-Leckdetektor: Die Verwendung eines Helium-Lecksuchers, z. B. eines Massenspektrometers, ist eine hochempfindliche Methode zum Aufspüren von Lecks. Heliumgas wird in den Ofen eingeleitet, und wenn es ein Leck gibt, entweicht das Helium und kann vom Lecksucher aufgespürt werden.
Es ist wichtig zu beachten, dass ein Vakuumofen, in dem ein Leck entdeckt wurde, nicht für die Produktion verwendet werden sollte, bis das Leck repariert ist. Eine gängige Praxis ist, den Ofen mit Stickstoff zu füllen, ohne die Kammer zur Atmosphäre zu öffnen. Alle Thermoelementanschlüsse und andere Vakuumzuführungen sollten festgezogen werden. Der Ofen kann dann erneut auf seine Leckrate geprüft werden. Fällt die zweite Dichtheitsprüfung negativ aus, ist eine umfangreichere Wartung, möglicherweise einschließlich einer Heliumdichtheitsprüfung, erforderlich.
Um Lecks in Vakuumöfen zu vermeiden, ist ein umfassendes vorbeugendes Wartungsprogramm unerlässlich. Dazu gehören die ordnungsgemäße Pflege von Pumpen, O-Ringen und Flanschdichtflächen sowie die regelmäßige Inspektion von Vakuumzuführungen. Die kontinuierliche Überwachung des Vakuumniveaus während der Verarbeitung kann ebenfalls dazu beitragen, potenzielle Probleme zu erkennen, bevor sie zu größeren Reparaturen führen.
Zur Durchführung eines Leckraten-Tests sollte der Ofen auf ein hohes Vakuumniveau, z. B. 3 x 10-5 Torr, am Ionenmessgerät abgepumpt werden. Der Wert des Vakuums auf dem TC-Vakuummeter sollte aufgezeichnet werden. Nachdem die Vakuumkammer von den Pumpen getrennt wurde, sollte das Vakuumniveau am Vakuum-TC-Manometer nach 15 Minuten erneut gemessen werden. Die Differenz zwischen dem anfänglichen Vakuumwert und dem 15-Minuten-Wert wird mit 4 multipliziert, um die Leckrate der Vakuumkammer pro Stunde zu berechnen. Die Akzeptanzkriterien für die Leckrate können je nach den geltenden Spezifikationen variieren, aber eine Leckrate von 20 Mikrometern/Stunde ist im Allgemeinen für die meisten Anwendungen akzeptabel. Ein gut abgedichteter Ofen kann jedoch eine Leckrate von weniger als 5 Mikron/Stunde erreichen, wobei einige Öfen sogar einen Wert von weniger als 1 Mikron/Stunde erreichen.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Prüfung auf Leckagen in einem Vakuumofen durch Schalldetektion, Vakuumabfall oder mit einem Helium-Lecksucher erfolgen kann. Regelmäßige vorbeugende Wartung und Überwachung des Vakuumniveaus sind wichtig, um Ausfallzeiten aufgrund von Leckagen zu minimieren.
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