Technisches Team · Kintek Solution

Die Leckerkennung ist in verschiedenen Branchen ein kritischer Prozess, insbesondere beim Umgang mit empfindlichen Geräten wie z PECVD-Ausrüstung . Akzeptable Methoden zur Lecksuche umfassen typischerweise eine Kombination aus Sichtprüfungen, Druckprüfungen und der Verwendung spezieller Werkzeuge wie Helium-Lecksucher oder Ultraschall-Lecksucher. Diese Methoden stellen sicher, dass selbst kleinste Lecks erkannt werden, was für die Aufrechterhaltung der Integrität und Leistung von Systemen von entscheidender Bedeutung ist. Die Wahl der Methode hängt von der Art des Systems, der erforderlichen Empfindlichkeit und der Umgebung ab, in der das Gerät betrieben wird.

Wichtige Punkte erklärt:

1. Visuelle Inspektion:

   • Beschreibung: Dies ist die einfachste Form der Lecksuche und umfasst eine gründliche visuelle Untersuchung der Ausrüstung auf Anzeichen von Leckagen wie Flecken, Korrosion oder physische Schäden.
   • Anwendung: Nützlich für Erstprüfungen und in Umgebungen, in denen wahrscheinlich Lecks sichtbar sind.
   • Einschränkungen: Nicht wirksam zur Erkennung sehr kleiner oder interner Lecks.

2. Druckprüfung:

   • Beschreibung: Bei dieser Methode wird das System unter Druck gesetzt und der Druck über einen längeren Zeitraum überwacht, um etwaige Tropfen zu erkennen, die auf ein Leck hinweisen würden.
   • Typen: Beinhaltet sowohl statische als auch dynamische Druckprüfungen.
   • Anwendung: Wird häufig in Rohrleitungen, HVAC-Systemen und anderen unter Druck stehenden Systemen verwendet.
   • Vorteile: Kann Lecks in Systemen erkennen, die für eine visuelle Inspektion nicht leicht zugänglich sind.

3. Helium-Leckerkennung:

   • Beschreibung: Helium wird als Prüfgas verwendet, da es inert und ungiftig ist und eine kleine Molekülgröße aufweist, was es ideal für die Erkennung sehr kleiner Lecks macht.
   • Verfahren: Das System wird mit Helium unter Druck gesetzt und ein Helium-Leckdetektor wird verwendet, um austretendes Gas aufzuspüren.
   • Anwendung: Hochwirksam in Vakuumsystemen, wie sie in verwendet werden PECVD-Ausrüstung .
   • Vorteile: Extrem empfindlich und kann Lecks erkennen, die andere Methoden möglicherweise übersehen.

4. Ultraschall-Leckerkennung:

   • Beschreibung: Bei dieser Methode werden Ultraschallsensoren verwendet, um die hochfrequenten Geräusche zu erkennen, die von aus einem Leck austretenden Gasen oder Flüssigkeiten erzeugt werden.
   • Verfahren: Der Sensor wird um das Gerät herum bewegt und alle Ultraschallsignale werden erkannt und analysiert.
   • Anwendung: Nützlich in lauten Umgebungen, in denen andere Methoden möglicherweise weniger effektiv sind.
   • Vorteile: Kann Lecks in Echtzeit erkennen und ist nicht-invasiv.

5. Blasentest:

   • Beschreibung: Eine einfache Methode, bei der eine Seifenlösung auf die verdächtige Stelle aufgetragen wird und die Blasenbildung auf ein Leck hinweist.
   • Anwendung: Wird häufig zur schnellen Überprüfung von Gasleitungen und Armaturen verwendet.
   • Einschränkungen: Nicht zum Aufspüren sehr kleiner Lecks oder an schwer zugänglichen Stellen geeignet.

6. Farbeindringprüfung:

   • Beschreibung: Ein Farbstoff wird auf die Oberfläche aufgetragen und nach einer gewissen Zeit wird der Überschuss entfernt. Eventuelle Farbstoffreste in Rissen oder Undichtigkeiten werden dann unter UV-Licht sichtbar.
   • Anwendung: Wird zur Erkennung von Oberflächenfehlern in nicht porösen Materialien verwendet.
   • Vorteile: Einfach und effektiv bei Oberflächenlecks.

7. Wärmebildtechnik:

   • Beschreibung: Verwendet Infrarotkameras, um Temperaturunterschiede zu erkennen, die durch austretende Gase oder Flüssigkeiten verursacht werden.
   • Anwendung: Nützlich in großen Systemen, in denen Lecks zu örtlicher Abkühlung oder Erwärmung führen können.
   • Vorteile: Kann große Flächen schnell abdecken und ist berührungslos.

8. Massenspektrometrie:

   • Beschreibung: Eine hochempfindliche Methode, die Gasmoleküle ionisiert und sie anhand ihres Masse-Ladungs-Verhältnisses erkennt.
   • Anwendung: Wird in Hochvakuumsystemen und kritischen Anwendungen eingesetzt, bei denen selbst kleinste Lecks erkannt werden müssen.
   • Vorteile: Äußerst präzise und kann die Art des austretenden Gases identifizieren.

Jede dieser Methoden hat ihre eigenen Stärken und wird basierend auf den spezifischen Anforderungen des zu testenden Systems ausgewählt. Für PECVD-Ausrüstung Methoden wie Helium-Lecksuche und Ultraschall-Lecksuche werden aufgrund ihrer hohen Empfindlichkeit und Fähigkeit, selbst kleinste Lecks zu erkennen, häufig bevorzugt, was für die Aufrechterhaltung der für den Prozess erforderlichen Vakuumintegrität von entscheidender Bedeutung ist.

Übersichtstabelle:

Verfahren	Beschreibung	Anwendung	Vorteile
Visuelle Inspektion	Grunduntersuchung auf sichtbare Anzeichen einer Leckage (Flecken, Korrosion, Beschädigung).	Erste Kontrollen in Umgebungen, in denen Lecks wahrscheinlich sichtbar sind.	Einfach und kostengünstig.
Druckprüfung	Setzt das System unter Druck, um Druckabfälle zu überwachen, die auf Lecks hinweisen.	Rohrleitungen, HVAC-Systeme und Drucksysteme.	Erkennt Lecks in unzugänglichen Bereichen.
Helium-Leckerkennung	Verwendet Helium als Prüfgas, um kleine Lecks zu erkennen.	Vakuumsysteme wie PECVD-Geräte.	Hochsensibel und erkennt kleinste Lecks.
Ultraschallerkennung	Erkennt hochfrequente Geräusche von austretendem Gas oder Flüssigkeit.	Laute Umgebungen, in denen andere Methoden möglicherweise versagen.	Echtzeiterkennung und nichtinvasiv.
Blasentest	Trägt Seifenlösung auf, um Lecks durch Blasenbildung zu erkennen.	Schnelle Kontrollen von Gasleitungen und Armaturen.	Einfach und schnell bei oberflächlichen Lecks.
Farbeindringprüfung	Verwendet Farbstoff, um oberflächenbrechende Defekte unter UV-Licht aufzudecken.	Nicht poröse Materialien mit Oberflächenlecks.	Wirksam bei sichtbaren Oberflächenlecks.
Wärmebildtechnik	Erkennt Temperaturunterschiede durch Lecks mithilfe von Infrarotkameras.	Große Systeme mit lokaler Kühlung oder Heizung.	Deckt große Flächen schnell und berührungslos ab.
Massenspektrometrie	Ionisiert Gasmoleküle, um Lecks anhand des Masse-Ladungs-Verhältnisses zu erkennen.	Hochvakuumsysteme und kritische Anwendungen.	Äußerst präzise und identifiziert die Gasart.

Benötigen Sie Hilfe bei der Auswahl der richtigen Leckerkennungsmethode für Ihre Ausrüstung? Kontaktieren Sie noch heute unsere Experten für maßgeschneiderte Lösungen!