Für die Verdampfung von Materialien gibt es zwei Hauptmethoden: thermische Verdampfung und Elektronenstrahlverdampfung.
5 wichtige Punkte, die zu beachten sind
1. Erhitzungsmethode
Beim thermischen Verdampfen wird der Tiegel durch elektrischen Strom erhitzt.
Bei der Elektronenstrahlverdampfung wird das Material mit einem Strahl hochenergetischer Elektronen direkt erhitzt.
2. Eignung
Die thermische Verdampfung eignet sich besser für Materialien mit niedrigerem Schmelzpunkt, z. B. Metalle und Nichtmetalle.
Die Elektronenstrahlverdampfung eignet sich für Materialien mit höheren Temperaturen, einschließlich hochschmelzender Metalle.
3. Abscheidungsrate und Reinheit
Die E-Beam-Verdampfung hat im Allgemeinen eine höhere Abscheidungsrate.
Beim E-Beam-Verdampfen können Schichten mit besserer Reinheit hergestellt werden, da die Erhitzung des Tiegels, die Verunreinigungen einbringen kann, vermieden wird.
4. Ausrüstung und Skalierbarkeit
Die Elektronenstrahlverdampfung erfordert eine anspruchsvollere und teurere Ausrüstung.
Die thermische Verdampfung ist für viele Anwendungen einfacher und kostengünstiger.
5. Spezifische Anforderungen
Die Entscheidung zwischen thermischer und E-Beam-Verdampfung hängt von den spezifischen Anforderungen des zu verdampfenden Materials, der gewünschten Reinheit und Abscheidungsrate sowie dem Budget und der Komplexität der verfügbaren Ausrüstung ab.
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