Wissen Welche Art von Gas wird beim Sputtering-Prozess verwendet? (Die 5 wichtigsten Gase werden erklärt)
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Technisches Team · Kintek Solution

Aktualisiert vor 2 Monaten

Welche Art von Gas wird beim Sputtering-Prozess verwendet? (Die 5 wichtigsten Gase werden erklärt)

Beim Sputtern werden spezielle Gase verwendet, um eine effiziente und effektive Abscheidung von Materialien auf einem Substrat zu gewährleisten.

Die 5 wichtigsten Gase werden erklärt

Welche Art von Gas wird beim Sputtering-Prozess verwendet? (Die 5 wichtigsten Gase werden erklärt)

1. Argon

Argon ist das gebräuchlichste und kostengünstigste Gas, das im Sputtering-Prozess verwendet wird.

2. Krypton

Krypton wird aufgrund seines höheren Atomgewichts für die Zerstäubung schwerer Elemente verwendet.

3. Xenon

Xenon wird wie Krypton wegen seiner Fähigkeit, schwere Materialien effizient zu zerstäuben, ausgewählt.

4. Neon

Neon wird wegen seines geringeren Atomgewichts für die Zerstäubung leichter Elemente bevorzugt.

5. Reaktive Gase (Sauerstoff und Stickstoff)

Reaktive Gase wie Sauerstoff und Stickstoff werden in Kombination mit Inertgasen verwendet, um dünne Schichten aus Oxiden, Nitriden und anderen Verbindungen abzuscheiden.

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