Beim Sputtern werden spezielle Gase verwendet, um eine effiziente und effektive Abscheidung von Materialien auf einem Substrat zu gewährleisten.
Die 5 wichtigsten Gase werden erklärt
1. Argon
Argon ist das gebräuchlichste und kostengünstigste Gas, das im Sputtering-Prozess verwendet wird.
2. Krypton
Krypton wird aufgrund seines höheren Atomgewichts für die Zerstäubung schwerer Elemente verwendet.
3. Xenon
Xenon wird wie Krypton wegen seiner Fähigkeit, schwere Materialien effizient zu zerstäuben, ausgewählt.
4. Neon
Neon wird wegen seines geringeren Atomgewichts für die Zerstäubung leichter Elemente bevorzugt.
5. Reaktive Gase (Sauerstoff und Stickstoff)
Reaktive Gase wie Sauerstoff und Stickstoff werden in Kombination mit Inertgasen verwendet, um dünne Schichten aus Oxiden, Nitriden und anderen Verbindungen abzuscheiden.
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