Die gepulste Gleichstromzerstäubung wird für bestimmte Anwendungen allgemein als besser angesehen als die Gleichstromzerstäubung, insbesondere bei der reaktiven Zerstäubung und beim Umgang mit Isolatoren. Dies ist auf die Fähigkeit zurückzuführen, Schäden durch Lichtbogenentladungen zu mindern, und auf die bessere Kontrolle der Schichteigenschaften.
Minderung von Schäden durch Lichtbogenentladungen:
Das gepulste DC-Sputtern ist besonders vorteilhaft beim reaktiven Ionensputtern, wo das Risiko einer Bogenentladung hoch ist. Lichtbogenentladungen entstehen durch die Ansammlung von Ladungen auf dem Target, was sowohl für die Dünnschicht als auch für die Stromversorgung schädlich sein kann. Das gepulste DC-Sputtern hilft bei der Bewältigung dieses Problems, indem es die angesammelte Ladung in regelmäßigen Abständen entlädt und so den Aufbau verhindert, der zu Bogenentladungen führt. Dadurch wird der Prozess stabiler und weniger schädlich für die Geräte und die abgeschiedenen Schichten.Bessere Kontrolle über die Filmeigenschaften:
Das gepulste DC-Sputtern ermöglicht eine bessere Kontrolle über verschiedene Schichteigenschaften wie Dicke, Gleichmäßigkeit, Haftfestigkeit, Spannung, Kornstruktur und optische oder elektrische Eigenschaften. Dies ist entscheidend für Anwendungen, bei denen eine genaue Kontrolle der Filmeigenschaften erforderlich ist. Der gepulste Charakter der Stromversorgung ermöglicht eine kontrolliertere Umgebung für die Abscheidung von Materialien, was zu einer höheren Qualität der Schichten führt.
Vorteile bei der Abscheidung von Isoliermaterialien:
Die herkömmliche Gleichstromzerstäubung stößt bei der Abscheidung von Isolierstoffen aufgrund der Ladungsbildung auf dem Target an ihre Grenzen. Das gepulste DC-Sputtern und Weiterentwicklungen wie das High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) überwinden diese Einschränkungen, indem sie eine Methode zur effektiven Abscheidung von Isoliermaterialien bieten. Dies ist besonders wichtig für die Entwicklung fortschrittlicher Werkstoffe und Beschichtungen, bei denen isolierende Eigenschaften von entscheidender Bedeutung sind.
