Ein Reaktor für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist ein komplexes System zur Abscheidung dünner Schichten auf Substraten.
8 wesentliche Teile erklärt
1. Gaszufuhrsystem
Mit diesem System werden die Ausgangsstoffe in die Reaktorkammer geleitet.
2. Reaktorkammer
Hier findet die Dünnschichtabscheidung statt.
3. Mechanismus zur Beladung mit Substraten
Dieses System führt die Substrate in die Reaktorkammer ein und entnimmt sie wieder aus ihr.
4. Energiequelle
Sie liefert die für die chemischen Reaktionen erforderliche Wärme oder Energie.
5. Vakuumsystem
Dieses System sorgt für eine kontrollierte Umgebung, indem es unerwünschte Gase entfernt.
6. Abgassystem
Entfernt flüchtige Nebenprodukte und überschüssige Gase.
7. Abgasbehandlungssysteme
Diese Systeme behandeln schädliche oder giftige Bestandteile in den Abgasen.
8. Ausrüstung zur Prozesssteuerung
Dazu gehören Messgeräte, Steuerungen und Überwachungssysteme für Parameter wie Druck, Temperatur und Zeit.
Jede Komponente ist für den effizienten und effektiven Betrieb eines CVD-Reaktors entscheidend.
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