Zu den Komponenten des MOCVD-Verfahrens (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) gehören das Quellenversorgungssystem, das Gastransport- und Durchflusskontrollsystem, die Reaktionskammer und das Temperaturkontrollsystem, die Abgasbehandlung und das Sicherheitsalarmsystem sowie der automatische Betrieb und das elektronische Kontrollsystem. Jede Komponente spielt eine entscheidende Rolle für den präzisen und sicheren Betrieb des MOCVD-Prozesses.
Quellenversorgungssystem:
Das Quellenversorgungssystem bei der MOCVD ist für die Bereitstellung der erforderlichen metallorganischen Ausgangsstoffe und reaktiven Gase verantwortlich. Bei diesen Ausgangsstoffen handelt es sich in der Regel um metallorganische Verbindungen, und die reaktiven Gase können Wasserstoff, Stickstoff oder andere Inertgase enthalten. Das System stellt sicher, dass diese Materialien der Reaktionskammer kontrolliert zugeführt werden, was für die Qualität und Reproduzierbarkeit des Dünnschichtwachstums entscheidend ist.Gastransport- und Durchflusskontrollsystem:
Dieses System ist für das Mischen der Ausgangsstoffe und der reaktiven Gase am Eingang der Reaktionskammer verantwortlich. Es arbeitet unter kontrollierten Durchfluss- und Druckbedingungen, um die richtige Verteilung und Konzentration der Gase zu gewährleisten. Die Präzision des Gasflusses ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der gewünschten chemischen Reaktionen während des Abscheidungsprozesses.
Reaktionskammer und Temperaturkontrollsystem:
Die Reaktionskammer ist der Ort, an dem die eigentliche Abscheidung der Materialien auf das Substrat erfolgt. In der Regel handelt es sich dabei um eine kaltwandige Quarz- oder Edelstahlkammer, die bei atmosphärischem Druck oder Niederdruck betrieben wird. Das Temperaturkontrollsystem hält das Substrat auf einer präzisen Temperatur, in der Regel zwischen 500 und 1200 °C, die für die thermischen Zersetzungsreaktionen, die für das Schichtwachstum erforderlich sind, entscheidend ist.Abgasbehandlung und Sicherheitsalarmsystem:
Da die bei der MOCVD verwendeten Ausgangsstoffe entflammbar, explosiv und giftig sind, ist ein robustes Abgasbehandlungssystem erforderlich, um diese Gase nach ihrer Verwendung in der Reaktionskammer sicher zu handhaben und zu neutralisieren. Das Sicherheitsalarmsystem überwacht das System auf potenzielle Gefahren und alarmiert die Bediener bei Problemen, um die Sicherheit des Prozesses zu gewährleisten.
