Eine einstufige Vakuumpumpe arbeitet mit einem einzigen Satz von Rotoren und Schaufeln, während eine zweistufige Vakuumpumpe zwei Sätze von Rotoren und Schaufeln verwendet, die eine Niedervakuumstufe und eine Hochvakuumstufe ermöglichen. Der Hauptunterschied liegt in der Fähigkeit, verschiedene Vakuumniveaus zu erreichen und in der Effizienz bei verschiedenen Druckbereichen.
Einstufige Vakuumpumpe:
Eine einstufige Vakuumpumpe, in der Regel eine mechanische Pumpe, arbeitet mit einem einzigen Satz von Rotoren und Schaufeln. Sie ist so konstruiert, dass sie den Druck von Atmosphärendruck (etwa 10^5 Pa) auf einen niedrigeren Druck, normalerweise etwa 10 Pa, absenkt. Bei Drücken unter 20 Torr (ca. 2,67 kPa) beginnt ihre Effizienz jedoch zu sinken. Dieser Pumpentyp eignet sich für den Grob- und Feinvakuumbereich und wird häufig als Vorpumpe in Vakuumsystemen eingesetzt.Zweistufige Vakuumpumpe:
Eine zweistufige Vakuumpumpe enthält zwei Sätze von Rotoren und Schaufeln, die es ihr ermöglichen, in zwei Stufen zu arbeiten: eine Niedervakuumstufe und eine Hochvakuumstufe. Die Hochvakuumstufe saugt Prozessgas an und leitet es an die Niedervakuumstufe weiter, die das Gas auf atmosphärischen Druck komprimiert. Durch diese zweistufige Konstruktion kann die Pumpe tiefere Druckniveaus und eine bessere Vakuumleistung erreichen, wodurch sie sich für Anwendungen eignet, die Ultrahochvakuum (UHV) erfordern. Zweistufige Vakuumpumpen sind bei niedrigeren Drücken effizienter als ihre einstufigen Gegenstücke.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass der Hauptunterschied zwischen einer einstufigen und einer zweistufigen Vakuumpumpe in ihrer Konstruktion und den erreichbaren Vakuumniveaus liegt. Eine einstufige Pumpe eignet sich für Grob- und Niedrigvakuumanwendungen, während eine zweistufige Pumpe für tiefere Vakuumniveaus ausgelegt ist, wodurch sie effizienter ist und UHV-Bedingungen erreichen kann.
