Die Abscheiderate ist ein entscheidender Aspekt bei der Abscheidung von Dünnschichten. Sie misst, wie schnell sich das Material auf einem Substrat ablagert.
Was sind die Einheiten für die Abscheidungsrate? 5 wichtige Punkte zum Verständnis
1. Übliche Einheiten für die Abscheiderate
Die Einheiten für die Ablagerungsrate werden in der Regel als Länge pro Zeiteinheit ausgedrückt.
2. Nanometer pro Sekunde (nm/s)
Eine gängige Einheit ist Nanometer pro Sekunde (nm/s).
3. Mikrometer pro Minute (μm/min)
Eine weitere gebräuchliche Einheit ist Mikrometer pro Minute (μm/min).
4. Berechnung der Abscheidungsrate
Die Abscheiderate, bezeichnet als ( R_{dep} ), kann mit Hilfe der folgenden Formel berechnet werden: [ R_{dep} = A \mal R_{sputter} ].
5. Bedeutung bei der Dünnschichtabscheidung
Die Abscheidungsrate ist entscheidend für die Kontrolle der Dicke und der Gleichmäßigkeit der Dünnschichten.
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