Bei der PVD-Beschichtung werden verschiedene Materialien wie Metalle, Metalloxide, Nitride, Karbide und andere Verbindungen verwendet. Zu den gängigen Werkstoffen für PVD-Beschichtungen gehören Titan, Zirkonium, Aluminium, Siliziumoxid, diamantähnlicher Kohlenstoff und verschiedene Verbindungen auf Schwefel- und Molybdänbasis. Diese Werkstoffe werden aufgrund ihrer Eigenschaften wie Härte, Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität ausgewählt, die durch den PVD-Prozess verbessert werden.
Ausführliche Erläuterung:
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Metalle und Metallverbindungen: Bei PVD-Beschichtungen werden häufig Metalle wie Titan, Zirkonium und Aluminium verwendet. Diese Metalle können während des PVD-Verfahrens Verbindungen wie Oxide, Nitride und Karbide bilden. Titan kann zum Beispiel Titankarbid (TiC) oder Titannitrid (TiN) bilden, die für ihre hohe Härte und Verschleißfestigkeit bekannt sind. Zirkonium kann in ähnlicher Weise Zirkoniumkarbid (ZrC) oder Zirkoniumnitrid (ZrN) bilden, die ebenfalls eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit und Härte aufweisen.
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Silizium-Oxid: Dieses Material wird in PVD-Beschichtungen verwendet, da es die dielektrischen Eigenschaften von Oberflächen verbessert und sie dadurch widerstandsfähig gegen elektrische Leitfähigkeit macht, was für elektronische Anwendungen nützlich ist.
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Diamantähnlicher Kohlenstoff (DLC): DLC-Beschichtungen sind für ihre extreme Härte und ihre niedrigen Reibungskoeffizienten bekannt, wodurch sie sich ideal für Anwendungen eignen, die Verschleißfestigkeit und geringe Reibung erfordern, wie z. B. bei Präzisionswerkzeugen und mechanischen Komponenten.
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Verbindungen auf Schwefel- und Molybdänbasis: Diese Materialien werden häufig in PVD-Beschichtungen verwendet, um die Schmierfähigkeit zu verbessern und die Reibung zu verringern. Molybdändisulfid (MoS2) zum Beispiel wird häufig wegen seiner Schmiereigenschaften verwendet.
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Reaktive Gase: Während des PVD-Verfahrens werden reaktive Gase wie Stickstoff, Sauerstoff und Methan eingeleitet, die mit den verdampften Metallatomen reagieren und verschiedene Verbindungen bilden. Stickstoff reagiert zum Beispiel mit Titan und bildet Titannitrid, eine harte, verschleißfeste Beschichtung.
Die Wahl des Materials für die PVD-Beschichtung hängt von den spezifischen Anforderungen der Anwendung ab, einschließlich der gewünschten Härte, Korrosionsbeständigkeit, thermischen Stabilität und tribologischen Eigenschaften. Das PVD-Verfahren selbst umfasst die Verdampfung des Beschichtungsmaterials, den Transport der verdampften Atome zum Substrat, die Reaktion mit Gasen zur Bildung von Verbindungen und die Abscheidung des Materials auf dem Substrat. Dieser Prozess findet unter Vakuumbedingungen statt und gewährleistet hochwertige, dichte Beschichtungen mit hervorragender Haftung auf dem Substrat.
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