Die Kalibrierung eines Vakuums ist ein Prozess, bei dem überprüft wird, ob die zur Messung des Vakuumdrucks verwendeten Geräte genaue Messungen liefern. Dies geschieht durch den Vergleich der von den Instrumenten erzeugten Messungen mit denen eines Standards oder zulässiger Toleranzen. Eine regelmäßige Kalibrierung ist wichtig, um die Wiederholgenauigkeit von Vakuumdruckmessungen zu gewährleisten.
Um die für die Arbeit mit Vakuum erforderliche Präzision zu bestimmen, muss man die spezifische Anwendung und ihre Anforderungen an die Vakuumsteuerung berücksichtigen. Für bestimmte Anwendungen, wie z. B. Vakuumtrockenschränke oder Filtration, ist eine Vakuumregelung nicht unbedingt erforderlich. Für andere Anwendungen ist eine Vakuumregelung jedoch erforderlich.
Die Kalibrierung eines Vakuums umfasst verschiedene Komponenten und Systeme. Dazu gehören eine Regel- und Steuertafel (die eine Sicherheits-SPS und Software enthalten kann), ein Kühlwassersystem zur Deckung des Kühlbedarfs des Ofens und der Pumpen, ein Gasversorgungssystem mit ausgeklügelter Druckregelung und die Messung der Gasreinheit durch Taupunktmessungen.
Für die Messgenauigkeit sind die Form und die Abmessungen der einzelnen Teile vor der Montage und der montierten Vakuumkammern wichtig. Diese Messungen erfordern oft eine dreidimensionale Kontrolle mit einer Genauigkeit in der Größenordnung von Mikrometern. Handmessgeräte wie Maßbänder und Messschieber reichen in diesen Situationen nicht aus, daher werden häufig Brücken-Koordinatenmessgeräte (KMG) eingesetzt. Es kann jedoch schwierig sein, große Vakuumkammern in einen Messraum zu transportieren und sie auf einem KMG zu platzieren. Auch können Messungen vor Ort erforderlich sein, was bei großen Kammern ein hohes Maß an Messkenntnissen und mehrere Personen erfordert.
Arbeiten im Hochvakuum (HV), Ultrahochvakuum (UHV) und extremen Hochvakuum (XHV) erfordern eine sorgfältige Prüfung der Systemkonstruktion und der verwendeten Materialien. Die Ebenheit der Endflächen und Dichtungsflächen von Öffnungen und Verbindungen in einer Vakuumkammer muss genau gemessen werden. Fehler in der Ebenheit können zu Problemen wie Lecks führen und die Betriebsgenauigkeit der Vakuumkammern beeinträchtigen. Es ist wichtig, sorgfältige Inspektionen durchzuführen, die Bearbeitungsgenauigkeit während des Herstellungsprozesses zu messen und die Messungen mit den CAD-Konstruktionsdaten zu vergleichen.
Zur Kalibrierung eines Vakuums gehören genaue Messungen des Vakuumdrucks, die Berücksichtigung der spezifischen Anforderungen der Anwendung an die Vakuumkontrolle und die sorgfältige Vermessung der Form und der Abmessungen der Vakuumkammern und ihrer Komponenten.
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