Bei der Herstellung von Siliciumcarbid (SiC) kommen mehrere industrielle Verfahren zum Einsatz, darunter Sintern, Reaktionsbinden, Kristallwachstum und chemische Gasphasenabscheidung (CVD). Siliziumkarbid ist eine synthetisch hergestellte Verbindung, die für ihre Härte, Verschleißfestigkeit und thermischen Eigenschaften bekannt ist, was sie in verschiedenen Industriezweigen wertvoll macht.
Sintern:
Gesintertes SiC wird aus reinem SiC-Pulver mit nichtoxidischen Sinterhilfsmitteln hergestellt. Bei diesem Verfahren werden herkömmliche keramische Formgebungsverfahren eingesetzt und das Material in einer inerten Atmosphäre bei Temperaturen von bis zu 2000 °C oder mehr gesintert. Dieses Verfahren ergibt ein dichtes und festes Material, das für Hochtemperaturanwendungen geeignet ist.Reaktionsgebundene Bindung:
Reaktionsgebundenes SiC wird hergestellt, indem kompakte Mischungen aus SiC und Kohlenstoff mit flüssigem Silizium infiltriert werden. Das Silizium reagiert mit dem Kohlenstoff und bildet zusätzliches Siliziumkarbid, das die SiC-Partikel miteinander verbindet. Diese Methode eignet sich besonders für die Herstellung komplexer Formen und Strukturen.
Kristallwachstum:
Die Hersteller verwenden die chemische Gasphasenabscheidung, um monokristalline SiC-Schichten auf Siliziumwafersubstraten zu erzeugen. Dieses Verfahren umfasst verschiedene Techniken, mit denen n- und p-Dotierstoffe in die SiC-Schichten eingebracht werden können, um deren elektrische Eigenschaften zu verbessern. Diese Methode ist entscheidend für die Herstellung hochwertiger SiC-Kristalle, die in der Elektronikfertigung verwendet werden.Chemische Gasphasenabscheidung (CVD):
Mittels CVD wird SiC mit sehr geringem elektrischem Widerstand hergestellt, was es zu einem guten elektrischen Leiter macht. Diese Eigenschaft ermöglicht die Herstellung feiner Strukturen mit Hilfe von EDM-Methoden (Electrical Discharge Machining), die für die Erzeugung winziger Löcher mit hohem Aspektverhältnis nützlich sind. Das CVD-Material ist auch für seine geringe Dichte, hohe Steifigkeit, extreme Härte und Verschleißfestigkeit bekannt.
Vorbereitungsmethoden:
