Die Dicke einer Folie wird in der Regel mit verschiedenen Techniken gemessen, wobei die gebräuchlichsten mechanische Methoden wie die Tastschnittmethode und die Interferometrie sind. Diese Methoden beruhen auf dem Prinzip der Interferenz zur Messung der Dicke, wobei das von den oberen und unteren Grenzflächen der Folie reflektierte Licht analysiert wird. Die Dicke ist von entscheidender Bedeutung, da sie die elektrischen, optischen, mechanischen und thermischen Eigenschaften der Folie beeinflusst und zwischen einigen Nanometern und Mikrometern liegt.
Mechanische Methoden:
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Taststift-Profilometrie: Bei dieser Methode wird ein Taststift über die Oberfläche der Folie geführt, um die Höhenunterschiede zu messen, die der Dicke entsprechen. Sie erfordert eine Rille oder Stufe zwischen der Folie und dem Substrat, die durch Abdecken oder Entfernen von Teilen der Folie oder des Substrats geschaffen werden kann.
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Interferometrie: Diese Technik nutzt die Interferenzmuster, die durch Lichtwellen entstehen, die von der Ober- und Unterseite der Folie reflektiert werden. Sie erfordert eine stark reflektierende Oberfläche, um die Interferenzstreifen deutlich zu erkennen. Die Dicke wird durch die Analyse dieser Streifen bestimmt, die durch den optischen Wegunterschied zwischen den beiden reflektierten Strahlen beeinflusst werden.
Auswahl der Messtechnik:
Die Wahl des Messverfahrens hängt von Faktoren wie der Transparenz des Materials, den erforderlichen Zusatzinformationen (wie Brechungsindex, Oberflächenrauheit usw.) und den finanziellen Möglichkeiten ab. Ist die Folie beispielsweise transparent und liegt in einem Dickenbereich von 0,3 bis 60 µm, kann ein Spektralphotometer effektiv eingesetzt werden.Bedeutung der Schichtdicke:
Die Dicke von dünnen Schichten ist von entscheidender Bedeutung, da sie sich direkt auf ihre Eigenschaften auswirkt. Bei Nanomaterialien, bei denen die Dicke nur wenige Atome betragen kann, ist eine präzise Messung unerlässlich, um die gewünschte Funktionalität und Leistung zu gewährleisten. Die Industrie nutzt diese Messungen zur Optimierung des Produktdesigns und der Funktionalität, so dass die genaue Dickenmessung ein wichtiger Aspekt der Herstellungsprozesse ist.
Schlussfolgerung:
