Die Dicke einer Folie wird in der Regel mit verschiedenen Verfahren gemessen.
Die gebräuchlichsten Methoden sind mechanische Verfahren wie die Tasterprofilometrie und die Interferometrie.
Diese Methoden beruhen auf dem Prinzip der Interferenz, um die Dicke zu messen.
Dabei wird das von den oberen und unteren Grenzflächen der Folie reflektierte Licht analysiert.
Die Dicke ist entscheidend, da sie die elektrischen, optischen, mechanischen und thermischen Eigenschaften der Folie beeinflusst.
Sie reicht von einigen Nanometern bis zu Mikrometern.
Die 4 wichtigsten Methoden werden erklärt
1. Tastschnittgerät-Profilometrie
Bei der Taststiftprofilometrie wird ein Taststift physisch über die Oberfläche der Folie geführt, um die Höhenunterschiede zu messen.
Diese Höhenunterschiede entsprechen der Dicke.
Dazu ist eine Rille oder Stufe zwischen der Folie und dem Substrat erforderlich.
Diese kann durch Abdecken oder Entfernen von Teilen der Folie oder des Substrats geschaffen werden.
2. Interferometrie
Die Interferometrie nutzt die Interferenzmuster, die durch Lichtwellen entstehen, die von der Ober- und Unterseite der Folie reflektiert werden.
Sie erfordert eine stark reflektierende Oberfläche, um die Interferenzstreifen deutlich zu erkennen.
Die Dicke wird durch Analyse dieser Streifen bestimmt.
Diese Streifen werden durch den optischen Wegunterschied zwischen den beiden reflektierten Strahlen beeinflusst.
3. Auswahl der Messtechnik
Die Wahl des Messverfahrens hängt von Faktoren wie der Transparenz des Materials ab.
Sie hängt auch von den erforderlichen zusätzlichen Informationen wie Brechungsindex, Oberflächenrauheit usw. ab.
Ist die Folie beispielsweise transparent und liegt in einem Dickenbereich von 0,3 bis 60 µm, kann ein Spektralphotometer effektiv eingesetzt werden.
4. Die Bedeutung der Schichtdicke
Die Dicke von dünnen Schichten ist von entscheidender Bedeutung, da sie sich direkt auf ihre Eigenschaften auswirkt.
Bei Nanomaterialien, bei denen die Dicke nur wenige Atome betragen kann, ist eine präzise Messung unerlässlich, um die gewünschte Funktionalität und Leistung zu gewährleisten.
Die Industrie nutzt diese Messungen zur Optimierung von Produktdesign und Funktionalität.
Daher ist die genaue Dickenmessung ein wichtiger Aspekt der Fertigungsprozesse.
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