Die Frequenz von Mpcvd beträgt 2,45 GHz. Bei dieser Frequenz arbeitet der Mikrowellengenerator in der MPCVD-Anlage. Die Mikrowellenstrahlung wird verwendet, um in der Vakuumkammer ein Plasma zu erzeugen, das eine ideale Umgebung für die Diamantabscheidung schafft. Die Elektronen im Plasma absorbieren Energie aus der Mikrowellenstrahlung und erreichen dabei Temperaturen von bis zu 5273 K. Die am häufigsten verwendeten Mikrowellenfrequenzen für diese Methode sind 2,45 GHz und 915 MHz.
Die MPCVD-Methode hat mehrere Vorteile gegenüber anderen Diamantsynthesemethoden. Im Vergleich zur DC-PJ-CVD-Methode ermöglicht die MPCVD eine sanfte und kontinuierliche Anpassung der Mikrowellenleistung und eine stabile Kontrolle der Reaktionstemperatur. Dadurch kann das Problem vermieden werden, dass Kristallkeime aufgrund von Lichtbogenbildung und Flammenausfall vom Substrat fallen. Durch die Anpassung der Struktur der Reaktionskammer und die Steuerung der Mikrowellenleistung und des Drucks kann eine große Fläche mit stabilem Entladungsplasma erzielt werden, was für die Herstellung hochwertiger, großformatiger Einkristalldiamanten erforderlich ist. Daher gilt die MPCVD-Methode als die vielversprechendste Diamantsynthesemethode für industrielle Anwendungen.
Neben ihren Vorteilen bei der Diamantsynthese wird die MPCVD-Methode auch bei anderen Anwendungen wie der Herstellung von Graphen eingesetzt. Die Frequenz von 2,45 GHz wird bei der Konstruktion von MPECVD-Kammern für Produktionssysteme für Dünnschichtzellen verwendet. Die Anordnung der Schlitze in der Kammer wirkt sich auf die Resonanzmode aus, wobei die mittlere und die untere Position die TE111- bzw. TM011-Moden bei 2,45 GHz erzeugen.
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