Die Frequenz von MPCVD beträgt 2,45 GHz. Bei dieser Frequenz arbeitet der Mikrowellengenerator in der MPCVD-Anlage.
Die Mikrowellenstrahlung wird genutzt, um in der Vakuumkammer ein Plasma zu erzeugen, das eine ideale Umgebung für die Diamantabscheidung schafft.
Die Elektronen im Plasma absorbieren Energie aus der Mikrowellenstrahlung und erreichen dabei Temperaturen von bis zu 5273 K.
Die am häufigsten verwendeten Mikrowellenfrequenzen für diese Methode sind 2,45 GHz und 915 MHz.
Was ist die Frequenz von MPCVD? (4 Schlüsselpunkte werden erklärt)
1. Betriebsfrequenz von MPCVD
Die Frequenz von MPCVD liegt bei 2,45 GHz. Dies ist die Frequenz, bei der der Mikrowellengenerator im MPCVD-System arbeitet.
2. Plasmaerzeugung
Die Mikrowellenstrahlung wird zur Erzeugung eines Plasmas in der Vakuumkammer verwendet, wodurch eine ideale Umgebung für die Diamantabscheidung geschaffen wird.
3. Temperatur der Elektronen
Die Elektronen im Plasma absorbieren Energie aus der Mikrowellenstrahlung und erreichen dabei Temperaturen bis zu 5273 K.
4. Übliche Mikrowellenfrequenzen
Die am häufigsten verwendeten Mikrowellenfrequenzen für diese Methode sind 2,45 GHz und 915 MHz.
5. Vorteile von MPCVD
Die MPCVD-Methode hat mehrere Vorteile gegenüber anderen Diamantsynthesemethoden.
Im Vergleich zur DC-PJ-CVD-Methode ermöglicht die MPCVD eine sanfte und kontinuierliche Anpassung der Mikrowellenleistung und eine stabile Kontrolle der Reaktionstemperatur.
Dadurch kann das Problem vermieden werden, dass Kristallkeime aufgrund von Lichtbogenbildung und Flammenausfall vom Substrat fallen.
Durch die Anpassung der Struktur der Reaktionskammer und die Steuerung der Mikrowellenleistung und des Drucks kann eine große Fläche mit stabilem Entladungsplasma erzielt werden, was für die Herstellung hochwertiger, großformatiger Einkristalldiamanten erforderlich ist.
Daher wird die MPCVD-Methode als die vielversprechendste Diamantsynthesemethode für industrielle Anwendungen angesehen.
6. Andere Anwendungen von MPCVD
Neben ihren Vorteilen bei der Diamantsynthese wird die MPCVD-Methode auch für andere Anwendungen eingesetzt, z. B. für die Herstellung von Graphen.
Die Frequenz von 2,45 GHz wird bei der Konstruktion von MPECVD-Kammern für Produktionssysteme für Dünnschichtzellen verwendet.
Die Anordnung der Schlitze in der Kammer wirkt sich auf die Resonanzmode aus, wobei die mittlere und die untere Position die TE111- bzw. TM011-Moden bei 2,45 GHz erzeugen.
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