Die Leckrate eines Vakuumofens kann je nach Anwendung und Volumen der Vakuumkammer variieren. Im Allgemeinen ist eine Leckrate von 10 Mikrometern/Stunde für die meisten Vakuumöfen akzeptabel. Für kritische Anwendungen wie die Verarbeitung von Superlegierungen oder reaktiven Metallen ist jedoch eine Leckrate von weniger als 5 Mikron/Stunde erforderlich. Es ist wichtig, dass die Vakuumkammer, die Türen, die Durchführungen und die Durchlässe dicht sind, um das gewünschte Vakuumniveau zu halten.
Um die Integrität des Vakuumsystems sicherzustellen, wird eine Dichtheitsprüfung durchgeführt. Dieser Test wird in der Regel unmittelbar nach dem Trockenlaufzyklus durchgeführt, ohne den Ofen in die Atmosphäre zu entlüften. Das Pumpsystem wird im manuellen Modus gestartet und der Ofen wird auf 1 x 10-4 Torr oder besser abgepumpt. Das Pumpsystem wird dann von der Ofenkammer getrennt, und das Vakuumniveau wird nach 30 Minuten und erneut nach 60 Minuten aufgezeichnet. Die Leckrate kann dann in Mikrometern pro Stunde berechnet und mit den in den geltenden Spezifikationen festgelegten Akzeptanzkriterien verglichen werden.
Bei neueren Öfen sollten die Leckraten 10 Mikrometer pro Stunde bei einem Druck von 70 Mikrometer oder weniger nicht überschreiten. Ältere Öfen können Leckraten von 20 bis 25 Mikrometern pro Stunde aufweisen, die noch als akzeptabel gelten. Diese Leckraten stellen sicher, dass die Menge an Verunreinigungen, die in den Ofen entweicht, so gering ist, dass keine nennenswerten nachteiligen Auswirkungen auf die zu verarbeitenden Materialien auftreten. Weist ein Ofen eine Leckrate auf, die über diesen Grenzwerten liegt, sollte er nicht für die Produktion verwendet werden, bis das Leck repariert ist. In solchen Fällen muss der Ofen möglicherweise mit Stickstoff gefüllt und alle Vakuumdurchführungen müssen abgedichtet werden, bevor die Leckrate erneut geprüft werden kann.
Es ist wichtig, die vom Ofenhersteller vorgeschriebene regelmäßige Überprüfung der Leckrate durchzuführen, um Probleme aufgrund von Leckagen zu vermeiden. Eine höhere Leckrate kann zu einem höheren Restsauerstoffgehalt im Ofen führen, was sich negativ auf die Wärmebehandlungsergebnisse auswirken kann. Daher sollte dem gesamten Vakuumsystem die nötige Aufmerksamkeit gewidmet werden, und die Prüfung aller Verbindungen, Schweißnähte, Dichtungen, Ventile, Pumpen und des Behälters selbst auf Lecks ist von entscheidender Bedeutung.
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