Sputtern ist ein Verfahren zur physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD), bei dem Atome durch den Beschuss mit hochenergetischen Teilchen, in der Regel Ionen, aus einem festen Zielmaterial herausgeschleudert werden. Mit diesem Verfahren werden dünne Schichten auf einem Substrat abgeschieden, was es zu einer wichtigen Technik in verschiedenen Branchen für Beschichtungen und Materialveränderungen macht.
Mechanismus des Sputtering-Prozesses:
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Aufbau und Initialisierung:
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Der Prozess beginnt in einer Vakuumkammer, in die ein kontrolliertes Gas, in der Regel Argon, eingeleitet wird. Das Targetmaterial, das die Quelle der abzuscheidenden Atome ist, ist negativ geladen und dient als Kathode. Diese Anordnung ist notwendig, um eine Plasmaumgebung zu erzeugen.Erzeugung eines Plasmas:
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Die Kathode wird elektrisch erregt, was zur Emission freier Elektronen führt. Diese Elektronen stoßen mit den Argongasatomen zusammen und ionisieren sie in Argonionen und weitere freie Elektronen. Durch diesen Ionisierungsprozess entsteht ein Plasma, das ein Gemisch geladener Teilchen ist.
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Ionenbombardement:
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Die positiv geladenen Argon-Ionen werden aufgrund des elektrischen Feldes in Richtung des negativ geladenen Targets (Kathode) beschleunigt. Wenn diese Ionen auf die Oberfläche des Targets treffen, übertragen sie ihre kinetische Energie auf die Targetatome.Atom-Ausstoß:
- Wenn die von den Ionen übertragene Energie ausreicht, überwindet sie die Bindungsenergie der Zielatome, so dass diese von der Oberfläche abgestoßen werden. Dieser Ausstoß erfolgt durch Impulsübertragung und anschließende Kollisionen innerhalb des Zielmaterials.Abscheidung auf dem Substrat:
- Die ausgestoßenen Atome bewegen sich in geraden Linien und werden auf einem nahe gelegenen Substrat abgelagert, das sich in der Bahn dieser ausgestoßenen Teilchen befindet. Dies führt zur Bildung einer dünnen Schicht des Zielmaterials auf dem Substrat.
- Faktoren, die das Sputtern beeinflussen:Energie der einfallenden Ionen:
Ionen mit höherer Energie können tiefer in das Targetmaterial eindringen, wodurch sich die Wahrscheinlichkeit des Atomauswurfs erhöht.Masse der einfallenden Ionen und Zielatome:
Die Masse der Ionen und Zielatome beeinflusst die Effizienz der Impulsübertragung.
