Argongas wird aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften, die es ideal für dieses Verfahren machen, häufig beim Sputtern verwendet.
Warum wird Argongas beim Sputtern verwendet? 5 Hauptgründe werden erklärt
1. Hohe Sputtering-Rate
Argon hat eine hohe Sputtering-Rate. Das bedeutet, dass es die Energie effizient auf das Zielmaterial überträgt, wodurch Atome herausgeschleudert werden.
Diese Effizienz ist entscheidend für einen effektiven und zeitsparenden Abscheidungsprozess.
Die hohe Masse der Argon-Ionen trägt dazu bei, dass sie beim Aufprall auf das Zielmaterial viel Energie übertragen können, was zu einem effizienten Sputtern führt.
2. Inerte Natur
Argon ist chemisch inert. Das bedeutet, dass es mit den meisten Materialien nicht reagiert.
Diese Eigenschaft ist beim Sputtern von entscheidender Bedeutung, da sie gewährleistet, dass das Zielmaterial und die abgeschiedene Schicht während des Prozesses nicht chemisch verändert oder verunreinigt werden.
Die Inertheit von Argon trägt dazu bei, die Integrität der Eigenschaften der Dünnschicht zu erhalten, z. B. ihre elektrische Leitfähigkeit und strukturelle Stabilität.
3. Niedriger Preis und Verfügbarkeit
Argon ist relativ preiswert und in hoher Reinheit weithin verfügbar.
Dies macht es zu einer kosteneffektiven Wahl für industrielle und Forschungsanwendungen.
Die Verfügbarkeit von Argon in verschiedenen Reinheitsgraden ermöglicht den Einsatz in einer Vielzahl von Sputterverfahren, von einfachen bis hin zu hochspezialisierten Anwendungen.
4. Bildung von Ar+-Ionen
Bei Vorhandensein eines Magnetfeldes werden die Elektronen konzentriert, wodurch sich die Elektronendichte erhöht.
Diese höhere Dichte erhöht die Wahrscheinlichkeit von Zusammenstößen zwischen Elektronen und Argonatomen, was zur Bildung von positiv geladenen Argon-Ionen (Ar+) führt.
Diese Ionen werden dann von dem negativ geladenen Target angezogen, wo sie mit hoher Geschwindigkeit aufprallen und ein Sputtern verursachen.
5. Vielseitigkeit
Argon kann für verschiedene Arten der Zerstäubung verwendet werden, darunter Gleichstrom-, Hochfrequenz- und Wechselstromentladungen.
Diese Vielseitigkeit macht Argon zu einer bevorzugten Wahl für viele verschiedene Aufbauten und Anwendungen.
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