Ein thermischer Verdampfer ist ein Gerät, das in Vakuumbeschichtungsprozessen verwendet wird, um dünne Schichten von Materialien auf Substrate aufzubringen. Dabei wird ein Material in einer Hochvakuumumgebung bis zu seinem Verdampfungspunkt erhitzt, so dass der Dampf auf einem Substrat kondensiert und eine dünne Schicht bildet.
Erhitzungs- und Verdampfungsprozess:
Thermische Verdampfer verwenden einen elektrischen Widerstandsheizer, um das Material zu schmelzen und seinen Dampfdruck auf einen nutzbaren Bereich zu erhöhen. Der Erhitzungsprozess wird in einem Hochvakuum durchgeführt, das zwei Hauptzwecken dient: Es ermöglicht dem Dampf, zum Substrat zu gelangen, ohne mit anderen Atomen der Gasphase in Wechselwirkung zu treten, und es reduziert die Einbindung von Verunreinigungen aus dem Restgas in der Vakuumkammer. Diese Methode eignet sich für Materialien mit einem hohen Dampfdruck im Vergleich zum Heizelement, um eine Verunreinigung des Films zu vermeiden.Arten der thermischen Verdampfung:
- Es gibt zwei Hauptarten der thermischen Verdampfung:
- Elektrische Widerstandsheizung: Bei dieser Methode wird das Material direkt mit Drähten oder in leitfähigen Tiegeln erhitzt. Sie eignet sich für Materialien, die auf hohe Temperaturen erhitzt werden können, ohne den Behälter zu beschädigen.
Elektronenstrahl-Verdampfung: Bei dieser anspruchsvolleren Methode wird ein hochenergetischer Elektronenstrahl verwendet, um einen kleinen Punkt auf dem Material zu erhitzen, was die Verdampfung von Materialien mit niedrigerem Dampfdruck ermöglicht. Der Elektronenstrahl wird in der Regel in einem großen Winkel gebogen, um die Pistolenwendel vor dem Verdampfungsstrom zu schützen.
Abscheidung und Filmbildung:
Wenn das verdampfte Material das Substrat erreicht, kondensiert es und bildet einen dünnen Film. Die Dicke des Films kann durch die Einstellung von Parametern wie der Temperatur des Verdampfungsmittels, der Abscheidungsrate und dem Abstand zwischen dem Verdampfer und dem Substrat gesteuert werden.Anwendungen und Vorteile:
Die thermische Verdampfung findet breite Anwendung bei der Herstellung elektronischer und optischer Geräte, einschließlich Solarzellen, OLED-Displays und MEMS. Das Verfahren wird wegen seiner Vielseitigkeit bei der Abscheidung einer breiten Palette von Materialien und seiner Fähigkeit zur Herstellung hochwertiger dünner Schichten geschätzt.
Praktische Überlegungen:
