Verdampfungsmaterialien sind Stoffe, die bei der Bildung dünner Filme oder Beschichtungen auf Oberflächen durch einen Prozess namens Verdampfung verwendet werden.
Diese Materialien werden auf hohe Temperaturen erhitzt, bis sie verdampfen.
In einer Vakuumumgebung gelangt das verdampfte Material direkt auf die Oberfläche eines Objekts, in der Regel ein Substrat, wo es kondensiert und einen dünnen Film bildet.
Dieser Prozess findet in einer Vakuumkammer statt, um Verunreinigungen zu vermeiden und sicherzustellen, dass nur das gewünschte Material die Beschichtung bildet.
7 wichtige Punkte, die Sie über Aufdampfmaterialien wissen sollten
1. Reinheitsgrade
Der Reinheitsgrad von Aufdampfmaterialien liegt in der Regel zwischen 99,9 % und 99,99999 %, abhängig von der jeweiligen Anwendung.
Ein hoher Reinheitsgrad ist von entscheidender Bedeutung, da er sich direkt auf die Qualität und Leistung der hergestellten dünnen Schichten auswirkt.
2. Arten von Materialien
Beispiele für Materialien, die als Aufdampfmaterialien verwendet werden, sind reine Metalle, Antimonide, Arsenide, Boride, Carbide, Fluoride, Nitride, Oxide, Selenide, Silizide, Sulfide und Telluride.
Diese Materialien liegen in verschiedenen Formen vor, z. B. als Brocken, Folien, Pellets, Drähte, Stäbe, Kugeln und Butzen, was ihre effiziente Verwendung in Verdampfungsprozessen erleichtert.
3. Übliche thermische Verdampfungstechniken
Zu den gängigen thermischen Verdampfungstechniken gehören die Widerstandsverdampfung, die Elektronenstrahlverdampfung, die Blitzverdampfung und die Induktionsverdampfung.
Bei jeder Methode wird das zu verdampfende Material bis zum Verdampfungspunkt erhitzt, entweder durch Widerstandserhitzung in einem Tiegel, durch Fokussierung eines Elektronenstrahls auf das Material, durch schnelles Erhitzen des Materials mit Hilfe eines Hochstromimpulses oder durch Induktionserhitzung, bei der Ströme im Material induziert werden.
4. Erforderliche Vakuumumgebung
Der Prozess der Verdampfung, insbesondere der thermischen Widerstandsverdampfung, erfordert eine Vakuumumgebung, um sicherzustellen, dass der Dampfdruck des Materials den der Umgebung übersteigt.
5. Notwendige Ausrüstung
Zur wesentlichen Ausrüstung gehören ein Vakuumsystem, eine elektrische Energiequelle und ein Widerstandselement, das in der Regel die Form eines "Bootes" aus einem hochschmelzenden Metall hat.
Dieser Aufbau ermöglicht die Erzeugung von Wärme, wenn Strom zugeführt wird, was zur Verdampfung des Materials und zur anschließenden Bildung von dünnen Schichten auf Substraten führt.
6. Breite Palette von Materialien
Plasmaterials, Inc. bietet eine breite Palette von Materialien an, die für die thermische Verdampfung geeignet sind, darunter elementare, legierte, zusammengesetzte, metallische, keramische, Cermet- und feuerfeste Materialien, die in verschiedenen Massenformen erhältlich sind.
Diese Materialien werden mit Techniken wie Pulvermetallurgie (PM) oder Vakuumschmelzen (VM) hergestellt und werden mit einem Analysezertifikat geliefert, in dem die chemische Zusammensetzung und die Spurenelemente angegeben sind.
7. Präzision und Reinheit
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