Die Goldbeschichtung im REM ist ein wichtiges Verfahren, um nichtleitende Proben elektrisch leitfähig zu machen. Dadurch werden Aufladungseffekte verhindert und die Qualität der erhaltenen Bilder erheblich verbessert. Bei diesem Verfahren wird eine dünne Goldschicht von typischerweise 2 bis 20 nm Dicke auf die Oberfläche der Probe aufgetragen.
5 Hauptvorteile erklärt
1. Verhinderung von Aufladungseffekten
Nichtleitende Materialien können, wenn sie dem Elektronenstrahl in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) ausgesetzt sind, statische elektrische Felder akkumulieren. Dies führt zu Aufladungseffekten, die das Bild verzerren und eine erhebliche Materialverschlechterung verursachen können. Durch die Beschichtung der Probe mit Gold, das ein guter Leiter ist, wird die Ladung abgeleitet. Dadurch wird sichergestellt, dass die Probe unter dem Elektronenstrahl stabil bleibt und Bildfehler vermieden werden.
2. Verbesserung der Bildqualität
Die Goldbeschichtung verhindert nicht nur die Aufladung, sondern verbessert auch das Signal-Rausch-Verhältnis in REM-Bildern erheblich. Gold hat eine hohe Sekundärelektronenausbeute, d. h. es emittiert mehr Sekundärelektronen, wenn es vom Elektronenstrahl getroffen wird, als nichtleitende Materialien. Diese erhöhte Emission führt zu einem stärkeren Signal, was zu klareren und detaillierteren Bildern führt, insbesondere bei niedrigen und mittleren Vergrößerungen.
3. Anwendung und Überlegungen
Gold wird aufgrund seiner geringen Austrittsarbeit, die es zu einem effizienten Beschichtungsmaterial macht, häufig für Standard-SEM-Anwendungen verwendet. Es eignet sich besonders für Tisch-REMs und kann ohne nennenswerte Erwärmung der Probenoberfläche aufgetragen werden, so dass die Integrität der Probe erhalten bleibt. Bei Proben, die eine energiedispersive Röntgenanalyse (EDX) erfordern, ist es wichtig, ein Beschichtungsmaterial zu wählen, das die Zusammensetzung der Probe nicht beeinträchtigt. Gold wird oft bevorzugt, da es in der Regel in den zu analysierenden Proben nicht vorhanden ist.
4. Techniken und Ausrüstung
Die Goldbeschichtung wird in der Regel mit einem Sputter-Coater aufgebracht, einer Technik, bei der Metallatome auf der Probenoberfläche abgeschieden werden. Diese Methode gewährleistet eine gleichmäßige Schichtdicke über einen großen Bereich, was für die Erzielung konsistenter und zuverlässiger REM-Bilder entscheidend ist. Das Verfahren erfordert jedoch eine spezielle Ausrüstung, kann langsam sein und birgt die Gefahr eines Temperaturanstiegs und einer Verunreinigung.
5. Zweifacher Zweck
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Goldbeschichtung im REM einen doppelten Zweck erfüllt: Sie schützt die Probe vor schädlichen Aufladungseffekten und verbessert die Sichtbarkeit der Oberflächenmerkmale der Probe. Dies macht sie zu einem wesentlichen Vorbereitungsschritt für die Abbildung nicht leitender Materialien mit hoher Auflösung.
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