Der Hauptunterschied zwischen Dünnfilm- und Dickfilmbeschichtungen liegt in ihrer Dicke und den daraus resultierenden Eigenschaften. Dünne Schichten sind in der Regel nur wenige Nanometer bis einige Mikrometer dick, während dicke Schichten im Allgemeinen dicker sind als dünne Schichten. Dieser Dickenunterschied beeinflusst das Verhalten und die Anwendungen dieser Beschichtungen erheblich.
Schichtdicke und Verhalten:
Dünne Schichten verhalten sich aufgrund ihrer geringen Dicke anders als das Grundmaterial, was sich auf ihre physikalischen, chemischen und mechanischen Eigenschaften auswirkt. So weisen beispielsweise Materialien wie TiO2, SiO2 und Ta2O5 bei einer Dicke von etwa 100 nm Dünnschichteigenschaften auf, die sich von denen des Grundmaterials unterscheiden. Ein Aluminiumfilm der gleichen Dicke verhält sich jedoch eher wie ein Massenmaterial, was darauf hindeutet, dass nicht alle Materialien mit ähnlicher Dicke Dünnschichteigenschaften aufweisen werden. Dieser Unterschied ist entscheidend für die Nützlichkeit einer Beschichtung für bestimmte Anwendungen.Eigenschaften und Anwendungen:
Dünnfilmbeschichtungen werden wegen ihrer einzigartigen Eigenschaften geschätzt, die die Leistung von Substraten verbessern können. Sie können transparent und haltbar sein und die elektrische Leitfähigkeit oder die Signalübertragung verändern. So werden beispielsweise Chromschichten für harte Metallbeschichtungen auf Autoteilen verwendet, die sie vor UV-Strahlen schützen und gleichzeitig Material einsparen. Dünne Schichten sind auch in der Halbleiterindustrie und verschiedenen anderen Branchen, in denen Beschichtungen mit einer Dicke von wenigen Mikrometern erforderlich sind, unerlässlich. Sie verändern die Oberflächenwechselwirkungen des Substrats und bieten Funktionalitäten, die im Grundmaterial nicht vorhanden sind.
Abscheidungsmethoden:
