Der größte Nachteil der thermischen Verdampfungssysteme ist der hohe Gehalt an Verunreinigungen und die daraus resultierenden Filme mit geringer Dichte. Dies kann bis zu einem gewissen Grad durch den Einsatz von ionenunterstützten Quellen gemildert werden, bleibt aber eine erhebliche Einschränkung.
Hohe Verunreinigungsgrade:
Thermische Verdampfungssysteme weisen in der Regel die höchsten Verunreinigungsgrade unter den physikalischen Dampfabscheidungsmethoden (PVD) auf. Das liegt vor allem daran, dass das Ausgangsmaterial in einer Vakuumkammer auf eine hohe Temperatur erhitzt wird. Während dieses Erhitzens können die im Ausgangsmaterial enthaltenen Verunreinigungen verdampfen und Teil der abgeschiedenen Schicht werden. Dies kann zu Filmen mit schlechter Qualität führen, was ihre Leistung bei Anwendungen, die eine hohe Reinheit erfordern, beeinträchtigt.Filme mit niedriger Dichte:
Die durch thermische Verdampfung hergestellten Schichten haben oft eine geringe Dichte, was bedeutet, dass sie möglicherweise nicht gut auf dem Substrat haften und porös sein können. Diese Porosität kann die mechanischen und elektrischen Eigenschaften der Folie beeinträchtigen, so dass sie für Anwendungen, bei denen eine dichte, gleichmäßige Folie erforderlich ist, weniger geeignet ist. Die geringe Dichte trägt auch zu den hohen Verunreinigungswerten bei, da die Poren Verunreinigungen einschließen oder sie durch den Film wandern lassen können.
Abschwächung mit Ion-Assist:
