Thermische Verdampfungssysteme sind in verschiedenen Industriezweigen weit verbreitet, haben aber auch einen erheblichen Nachteil.
3 Hauptpunkte über den größten Nachteil von thermischen Verdampfungssystemen
1. Hohe Verunreinigungsgrade
Thermische Verdampfungssysteme führen häufig zu hohen Verunreinigungsgraden.
Das liegt vor allem daran, dass das Ausgangsmaterial bei diesem Verfahren in einer Vakuumkammer auf sehr hohe Temperaturen erhitzt wird.
Während dieser Erhitzung können Verunreinigungen im Ausgangsmaterial ebenfalls verdampfen und Teil der abgeschiedenen Schicht werden.
Dies kann zu Schichten mit schlechter Qualität führen, was für Anwendungen, die eine hohe Reinheit erfordern, problematisch ist.
2. Filme mit geringer Dichte
Die durch thermische Verdampfung erzeugten Schichten haben oft eine geringe Dichte.
Das bedeutet, dass sie möglicherweise nicht gut auf dem Substrat haften und porös sein können.
Die Porosität kann die mechanischen und elektrischen Eigenschaften der Schicht beeinträchtigen.
Eine geringe Dichte trägt auch zu einem hohen Anteil an Verunreinigungen bei, da die Poren Verunreinigungen einschließen oder sie durch die Folie wandern lassen können.
3. Abschwächung mit Ionen-Assist
Während die thermische Verdampfung von Natur aus Filme mit diesen Nachteilen hervorbringt, kann der Einsatz von Ionenunterstützungsquellen die Situation verbessern.
Bei der Ionenunterstützung wird die abgeschiedene Schicht mit Ionen beschossen, wodurch die Dichte erhöht und die Porosität der Schicht verringert werden kann.
Dieser Prozess kann auch dazu beitragen, Verunreinigungen zu entfernen oder zu reduzieren und so die Gesamtqualität der Schicht zu verbessern.
Die Hinzufügung von Ionenquellen erhöht jedoch die Komplexität und die Kosten des Systems, was möglicherweise nicht für alle Anwendungen in Frage kommt.
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